1966年在美国新墨西哥州建成了世界上第一个垂直单向流的生物洁净技术室(BCOR—Biological Clean Operating Room)。同年,当时的美国污染控制协会AACC(American Association ofContamination Control,后并入IEST—Institute of Environmental Science and Technology),发表了“层流手术室的设计与建造”、“层流洁净空气在外科领域的应用”等指导性文件。
特别是1982年6月成立了中国电子学会洁净技术分会(对外的名称是“中国污染控制协会”CCCS—Chinese Contamination Control Society),并创办了“洁净技术”杂志(现名为“洁净与空调技术”—Contamination Control & Air-conditioning Technology),于1983年正式发刊,在整合国内洁净室技术的各方面力量,推动洁净室技术进步以及在国际交流方面起了很大促进作用。1986年中国洁净技术学会成国国际污染控制学会联盟ICCCS(International Confederation of Contamination Control Society)的成员。当时的成员国仅有美(IEST)、英(SEE)、法(ASPES)、德(DIN/VDI)、日(JACA)、意(ASCCA)、瑞士(SRRT)及北欧四国(R3-Nodic)等。(现增加至18个成员国,有澳—ACCS、俄—ASEMCO、比—BCW、韩—KACA、罗马尼亚—RACC、巴西—SBCC、荷—VCCN、苏格兰—SZCZ)。
1982年每芯片上约有5~6万个器件的16K位随机存储器(RAM)已成畅销品。1984年256K位RAM已进入实用阶段。同年初日本宣布每芯片设置有约200万个器件的一兆位DRAM(Dynamic Random Access Memory—动态随机存取存储器)试制成功。1985年美国研制完成4兆位的集成电路。至八十年代末4M位的DRAM已商品化。
各种降低能耗,配合工艺过程自动化与高洁净度要求的洁净室气流组织方案及技术在此阶段也陆续诞生,如隧道式洁净室(tunnel type cleanroom)、洁净管道(duct type cleanroom)以及SMIF(standard mechanical interface—标准机械接口)技术等。
概括这十年来国内洁净技术行业的历程,依笔者个人的看法是喜忧参半。值得欣慰的是,洁净室技术行业在许多方面日益与国际接轨,反映在相关规范的内容、洁净室设计思路与方案、施工技术与管理、检测手段与技术等等方面。如反映在中国的国家标准修定中,2001年11月13日发布的GB50073-2001国家标准“洁净厂房设计规范”(Code for Design of Clean Room),在空气洁净度等级划分上,明确等效采用国际标准ISO14611-1,就是一个很好的例证。依靠制药工业与普通电子装配业,以及医疗卫生、食品、化妆品业的带动,洁净室技术得到极大的普及。但这些行业基本上都是ISO5或中国标准N5(相当于原联邦标准FED—STD—209E的100级)及以下级别的洁净室,所采用的主要设备器材如高效及各级过滤器、吹淋室、净化工作台,空调制冷机组以及金属壁板、地面复合材料等,基本上都是国内生产制造的。因此从七十年代屈指可数的、主要集中在京津地区、上海地区的十几家;八十年代末的百余家洁净室设备生产厂、施工安装单位,发展到现在几乎遍布全国各省市的上千家洁净室相关设备、器材生产制造厂、施工安装单位,和一批积累了相当丰富经验的设计单位、调试检测单位。