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标题: 高纯气体精密过滤器浅析 [打印本页]

作者: guolvfenlitech6 时间: 2020-6-2 19:22
标题: 高纯气体精密过滤器浅析

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2020-06-02 环球过滤分离技术网  guolvfenlitech6

   目前高纯气体过滤基本都是国外的供应商。看是简单，但是工艺和材质要求是很高的。对于那高温，耐压，耐腐蚀，惰性要求之高，可以说对过滤材料最高要求。

1.过滤介质
      不锈钢，镍合金，特氟龙PFA滤膜 ,，316L烧结不锈钢、烧结金属镍多孔金属过滤介质，Hastelloy C-22烧结多孔金属(哈氏合金)

2.滤壳材质
   二次提纯不锈钢316L VAR不锈钢或镍过滤器外壳，EP表面电子抛光。

3.过滤精度/颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)

颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 µ;m(1.5nm)

最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)

4. 主要生产商包括：

Entegris

Mott

GKN

Purolator

Pall

Capstan Incorporated

Porvair

Baoji Saga

Applied Porous Technologies

Swift Filters

PMF

5. 主要应用：应用：医疗，食品，电子，半导体制造，石油化工、太阳能、液晶面板制造以及微电子行业等行业。

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