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标题: Entegris解决方案｜湿法蚀刻和清洗 [打印本页]

作者: guolvfenlitech1 时间: 2020-10-24 08:55
标题: Entegris解决方案｜湿法蚀刻和清洗
本帖最后由 guolvfenlitech1 于 2020-10-24 08:57 编辑

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2020-10-24 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech1

化学品运输和污染物去除的发展演变

Guardian®PS 1 nm 弱酸弱碱过滤器

在较低温度下用于弱酸和弱碱的先进关键清洗解决方案，包括DHF、BOE、SC1、SC2及其它高纯化学品

▪ 这款一流的过滤器采用独特的高流量聚砜薄膜，目的在于缩短启动(冲洗)时间并以1nm的过滤精度去除颗粒

Torrento®X 系列强酸强碱过滤器

采用一流的高流量PTFE薄膜，具有7nm的过滤精度，以捕获导致缺陷并引起良率损失的颗粒

▪ 在高温下用于强酸和强碱的先进关键清洗解决方案，包括硫酸(SPM)、HCl、NH4OH及其他化学品

QuickChange®NX 强酸和强碱过滤器

高性能 PTFE 薄膜和 PFA 结构可防止脱湿，避免流量突然下降和计划外的过滤器更换

▪ 兼容各类无机化学品，适和各种化学品温度和种类

TitanKlean®清洗解决方案

TitanKlean®是最完整的蚀刻后残留物去除 (PERR) 解决方案系列

▪ 专为所有BEOL集成方案而设计

▪ 改善缺陷率和使用成本

▪ 无受损ULK电介质

▪ 兼容多种阻隔/覆盖材料

▪ 一步式和多步式的多种解决方案

PlanarEx™选择性氮化物蚀刻解决方案

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Entegris 选择性蚀刻配方旨在通过高精度过滤与纯化来拓宽工艺窗口，从而最大限度减少缺陷

▪ 选择性湿法蚀刻化学品在湿法蚀刻清洗的先进节点中克服了功能电介质/金属之间的高选择性蚀刻带来的挑战

▪ 侧重于化学品与表面的相互作用，新配方和方法的开发有助于积累湿法蚀刻清洗领域的专业知识，以满足3D NAND的需求和要求.

来源于：英特格微电子 www.guolvfenlitech.com

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