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标题: 超高纯电子化学品的关键：痕量杂质控制 [打印本页]

作者: guolvfenlitech6 时间: 2021-2-3 07:35
标题: 超高纯电子化学品的关键：痕量杂质控制

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2021-02-03 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech6

华东理工大学化学工程研究所所长许振良表示，我国电子新材料国产率仅为30%，且高端材料进口依赖度高达90%，年进口额约2000亿美元。主要存在极微量杂质传递与分离的问题。如今体器件的尺寸不断缩小，痕量杂质元素会降低芯片的合格率，特定的污染可导致不同器件的缺陷：

碱金属与碱土金属污染可导致元件击穿电压的降低；

过渡金属与重金属污染可使元件的寿命缩短；

渗透元素本身用于形成元件，若是污染，则改变了元件的工作点，使器件产生工作错误。

超高净微电子化学品是关键性支撑产业的坚实基础，发展战略性新兴产业是构建国际竞争新优势、掌握发展主动权的迫切需要。许振良团队针对超高净微电子材料方面进行了多年的研究。2012年与浙江建业化工股份有限公司联合组建华东理工-建业微电子化学品工程技术研究中心、2017年与西陇科学股份有限公司联合组建华东理工-西陇科学超净高纯试剂联合实验室等，部分电子化学品已建成年产1000吨超净高纯过氧化氢装置、年产5000吨超净高纯氨水装置等。

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东华工程科技股份有限公司与福州大学联合实验室博士陈杰

东华工程科技股份有限公司与福州大学联合实验室博士陈杰介绍了先进微孔共轭聚苯胺材料在超高纯湿电子化学品制备中的应用。全球中国超净高纯试剂主要生产企业有德国巴斯夫，美国Ashland化学、Arch化学，日本关东化学、三菱化学、京都化工、住友化学，台湾联仕、鑫林科技，韩国东友精细化工等。我国超净高纯试剂在市场的国产化率仅有25%，精制要求高、成本高、效率低。

联合实验室研究了微孔共轭聚苯胺（CMPA）的设计合成和BXJ盐调控，研究了包括聚苯胺PTPA、PTAPA、PAPA在内的多种微孔共轭聚合物的BXJ盐调控。制备的材料具有规整可调控的大比表面积和孔径尺寸，可以进行高纯电子化学品的精制。

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