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标题: 半导体超纯电子气体简介 [打印本页]

作者: guolvfenlitech6 时间: 2021-2-18 07:09
标题: 半导体超纯电子气体简介

2021-02-18 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech6

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关。
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根据业界经验数据，工业气体行业增速是全球 GDP 增速的2.0-2.5 倍，按照此数据，2018-2019 年全球工业气体增长率可按保守的 8%增长率计算，到 2019 年，全球工业气体市场规模可以达到 1,318 亿美元，市场规模稳步扩大。

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电子气体是仅次于大硅片的第二大市场需求半导体材料，电子气体在 2016年的半导体材料市场占比达 14%。随着半导体产业的发展，电子气体市场也随之增长。2017 年全球电子特种气体市场规模为 38.92 亿美元，2018 年电子特种气体市场规模 45.12 亿美元，同比增长 15.93%。而随着全球半导体产业链向国内转移，国内电子气体市场增速明显，远高于全球增速。近年来国内半导体市场发展迅速，在建和未来规划建设的产能为电子气体提供了广阔的空间。

2014 年国家发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立了集成电路产业投资基金，根据规划，我国集成电路销售额年均增速将保持在 20%左右，预计 2020 年将达到 8,700 亿元。若半导体用电子气体保持同样稳定的增速，国内半导体用电子气体市场将在 2020 年翻番。

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