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标题: 中科院光机所EDC湿法刻蚀显影机顺利验收 [打印本页]

作者: guolvfenlitech6 时间: 2021-7-8 07:12
标题: 中科院光机所EDC湿法刻蚀显影机顺利验收

2021-07-08 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech6

中科院光机所购买的EDC湿法显影刻蚀系统、匀胶机和加热台，上周已全部完成设备安装调试和用户培训，顺利验收。

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使用单位：中科院光机所

设备型号：EDC-650HZ-8NPPB / WS-650MZ-23NPPB / HP1000-3

设备名称：EDC湿法显影刻蚀系统 / 匀胶机 / 加热台

设备应用：多种基底材料和多种腐蚀性化学溶剂

辅助条件：DI rinse , N2 dry , DI bowl wash , N2 purge , DI (BSR)

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