Type I：专门使用于高压燃烧性气体(High-Pressure Flammable Gas)，如SiH4、B2H6、PH3、CH4、H2、AsH3。因其具有燃烧性，所以通常会加装相关的消防设备，如UV/IR火焰侦测器、洒水头、气体泄漏侦测器等，又因其为高压的压缩气体状态，可使用侦测供应压力的方式计算钢瓶剩余的气体量。
Type II：使用于中压液态燃烧性气体(Mid-Pressure Liquid Flammable Gas)，如NH3、HBr、HCl、Cl2。本型式除消防设备需要安装之外，并以电子重量磅秤来侦测钢瓶剩余的气体量，若对供气的流量有较大的需求时，需再考虑相关的加热设备。
Type III：使用于低蒸气压气体(Low Vapor Pressure Gas)，如BCl3、DCS、ClF3、WF6，除使用电子秤与加热装置外，因属非高压的钢瓶且供应流量小，建议不需使用高压测漏与过流量保护装置。
Type IV：使用于液态惰性气体(Liquid Inert Gas)，如C4F8、CHF3、C2F6、N2O、SF6，不需相关的安全设计，但要使用电子秤检知钢瓶剩余的气体量。
4. 更换钢瓶：通常由四个主要步骤来完成，Pre-purge R 更换钢瓶 R Post Purge R Process Purge。更换钢瓶的时机为气体残余量剩下约10%时，但实际上仍需以各气体过往的使用纪录为依据进行判断，才会得到较佳的更换时间点。再者，到达气体的使用年限亦需进行更换，通常约为一年，因部分的制程气体可能会对钢瓶造成微量的腐蚀，污染气源。
A. 气动控制阀，以GN2进行控制，不建议使用一般的压缩空气源(CDA, Compressed Dry Air)，因GN2的供应通常较CDA稳定，不会因停电运转设备的故障中断，此阀主要用于自动或半自动操作时的管路气体流向控制。
B. 手动控制阀，主要当作第二道的防护，如管路的出口。
C. 逆止阀(Check Valve)，防止特气倒灌入清洁用的PN2和抽气用的GN2管路。
D. 调压阀(Regulator)，用于调整并控制供应的气体压力。
E. 压力传输器(Pressure Transmitter)，这是防护系统安全的重要零件，透过它才能判知管路是否泄漏，相关的阀门是否可安全的开启，同时亦可检知钢瓶的气体剩余量。
F. 真空产生器(Vacuum Generator)，利用GN2的快速流动产生吸引的负压，将管路中的气体带出，以达到抽气的目的。
G. 气体过滤器(Line Filter)，装于供气的出口处，用以过滤掉气瓶柜阀盘组可能产生的污染粒子以确保供气质量，但并非一定必要装设，因通常在VMB的供气口都会安装符合制程条件需求的过滤器，若于气瓶柜装设过滤器后，需特别考虑未来更换过滤器的方便性，其装设点皆已靠近阀盘末端，较不易进行管路的清洁purge，故而个人不建议于此处装设过滤器。
H. 流量侦测器(Flow Sensor)，对管路上异常大量的流量进行侦测，若是超过可能的设定值，即判定管路上有可能大量泄漏，进而启动紧急关闭装置，中断供气。
I. 限流孔(Orifice)，则是一项简易又有效的过流量控制装置，用以限制大量的气流量通过，装设于Vent的排气管上，其主要防止特气vent时的大量排放，造成区域式废气处理系统无法负荷的状况发生。针对SiH4，因其具有毒性与强烈爆炸性，建议可于靠近钢瓶的出口端加装直径约0.01吋的限流孔，使其最高流量不得高于30 slm。
管路基本上以氩焊进行施工，但在与其它管件连接的部分则使用接头予以连接，常用的接头方式有两种，分别为VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)。前者泄漏率低，约为10-9 A cc/sec，且耐压较高，常用于制程用的危险气体；后者的泄漏率较高，约为10-6 A cc/sec，且耐压较低，常用于不具危险性的一般气体。目前已有很多厂商发展出泄漏率更低的接头方式，约可到达10-14 A cc/sec以上，基本上，其安全性已足够取代焊接的方式，但在台湾还尚未被广泛接受，使用者少；未来若能大量采用，定可大大的缩减施工的时程与成本。