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标题: 研磨液颗粒计数仪 Accusizer简介 [打印本页]
作者: guolvfenlitech6 时间: 2022-7-3 06:48
标题: 研磨液颗粒计数仪 Accusizer简介
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2022-07-03 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech6
AccuSizer®既是液体微粒计数器，也是复杂的高分辨率粒径分析仪。
在微电子行业中，分布于尾端凝结的大粒径颗粒会导致晶圆划伤以及良率下降。AccuSizer®是检测CMP研磨液（slurries）中大颗粒数量的行业标准仪器。在主流应用市场中，针对高斯分布尾端侦测形态的技术中
AccuSizer® SPOS系统
此款粒径分析仪同时具备高分辨率和高浓度的侦测功能，可准确地探测到微小颗粒高斯分布尾端的粒径大小和数量。
SPOS技术
AccuSizer®基于单微粒光学传感技术，这项技术简称为 SPOS。当液体悬浮液中的微粒逐个通过传感器时，它们与主激光束反应产生散射光，或者阻挡激光束产生影像。内部的光阻探测器和散射探测器都会产生与微粒对应比例的脉冲信号。脉冲高度分析仪通过相关的校准曲线将这些脉冲信号转换成粒径与数量。产生的结果包括粒径分布和每毫升液体的微粒浓度。
我们最新一代的传感器使用高强度的聚焦激光束，从而往更小粒径的动态区域延伸，并且高浓度测量值的上限达到每毫升液体1百万个微粒。
在实验室中，通过自动取样器快速检测样品
AccuSizer® SIS 通过传感器吸入极少量样品，而不用进行额外稀释。
AccuSizer® AD 可为浓缩样品提供自动单级指数稀释。
AccuSize® APS 对高浓度样品，例如高浓度乳剂，使用二步稀释。
所有 AccuSizer® 系统都可与自动取样器集成，以进行高效吞吐量的样品粒径分析。
从任何不溶性悬浮液的微粒计数到粒径分析，AccuSizer® 是获得高精度、高分辨率的不二选择。从微粒检测开始，打造您的解决方案。
研磨液颗粒计数仪(Accusizer) 是利用单颗粒光学传感器(Signal Particle Optics Sensor, SPOS)对液体中的颗粒进行粒径测试并计数的一种分析仪器。
研磨液颗粒计数仪主要包括检测器、全自动进样系统和二级自动稀释系统，其主要工作原理为，当不同粒径大小的粒子经过光感区域时，光强会随之产生相应的变化，处理器会根据这些由探测器将光信号转换而来的电压信号计算出粒子粒径的大小(因为不同大小的粒径会对应不同大小的电压信号)。
SPOS技术利用光散射与光消减两种物理作用，提高了研磨液颗粒计数仪的快速检测能力和辨析度，避免了粒子间的相互干扰，可以真实、准确地分析出样品的粒径及分布。
在集成电路制造领域，研磨液颗粒计数仪主要用于对化学机械研磨工艺中所用研磨液颗粒的粒径和分布的检测，对碱少化学机械研磨工艺中的缺陷，提高产品成品率有着非常重要的作用。
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