什么是空气过滤器、化学过滤器、风机过滤单元
空气过滤器：空气过滤器是通过多孔过滤材料的作用从气固两相流中捕集粉尘，并 使气体得以净化的设备。它把含尘量低的空气净化处理后送入室内，以保证洁净室的工艺要求和一般空调房间内的空气洁净度。根据 GB/T14295-2019《空气过滤器》、GB/T 6165-2008《高效空气过滤器性能试验方法效率和阻力》及 GB/T13554-2020《高效空气过滤 器》，空气过滤器按过滤效率分为 6 大类，即初效过滤器、中效过滤 器、高中效过滤器、亚高效过滤器、高效过滤器及超高效过滤器。 其中，初效过滤器对标准人工尘计重效率不低于 10%或对粒径 2.0 微 米以上尘埃粒子过滤效率不低于 20%，相当于欧洲标准 G1~G4;中效、 高中效及亚高效过滤器对粒径 0.5 微米以上的尘埃粒子过滤效率介于 20%至 99.9%之间，分别相当于欧洲标准 M5~M6、F7~F8、F9~E11; 高效过滤器对粒径 0.3 微米以上粒子的过滤效率不低于 99.95%，相当 于欧洲标准 E12~H14;超高效过滤器对粒径 0.1 微米以上粒子的过滤 效率不低于 99.999%，相当于欧洲标准 U15-U17。
HEPA/高效空气过滤器：High Efficiency Particulate Air Filter，指在额定风量下，对粒径大于或等于0.3微米粒子的捕集效率在99.95%以上的空气过滤器。
ULPA/超高效空气过滤器：Ultra Low Penetration Air Filter，指在额定风量下，对粒径大于或等于0.1微米粒子的捕集效率在 99.999%以上的空气过滤器。
初效过滤器：一般用于空调系统的初级过滤，主要用于过滤粒径 2 微米 以上尘埃粒子。初效过滤器有板式、折叠式、袋式等样式。初效过滤器一般具有容尘量高、阻力较小、经济适用等特点。
中效过滤器：一般指过滤效率介于初效和高效之间的空气过滤器，主要 用于过滤粒径 0.5 微米以上尘埃粒子。中效过滤器有板式、袋式、箱式等样式，一般根据净化系统的过滤效率、容尘量及阻力要求，与初效及高效过滤器搭配使用。
PTFE高效过滤器：使用聚四氟乙烯（Poly Tetra Fluoroethylene）作为滤材的高效过滤器，较普通材质的高效过滤器具有高效率低阻力的特点。
化学过滤器：用于过滤空气中的 AMC、VOCs 等气态污染物的过滤器，较常用的滤材为活性炭。
FFU：风机过滤单元（Fan Filter Unit），是一种自带动力的送风过滤装置，是具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机过滤单元从顶部将空气吸入并经 HEPA 或 ULPA 过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以 稳定的速度均匀送出。
EFU：设备端风机过滤单元（Equipment Fan Filter Unit），即应用于设备端， 具有过滤功效的模块化的送风装置。相较于 FFU，EFU 体积及厚度均较小，便于安装并可随设备一起移动，主要用于洁净室中局部高等级 净化区域设备，如洁净工作台、风淋室等。
风机过滤单元
风机过滤单元（FFU）广泛应用于半导体、生物制药、食品加工等行业的洁净厂房及 洁净室中，是洁净室空气净化的关键设备。该设备主要用于洁净室的吊顶或洁净 区域的上方或侧面，搭配或内置高效/超高效过滤器，提供稳定的洁净气流，通过气流的推出作用和稀释作用将室内污染物高效净化，从而达到高洁净度的要求。
1.1、过滤器：高效过滤器、初中效过滤器
高效过滤器：主要包括高效过滤器(HEPA)、 超高效过滤器(ULPA)。主要用于半导体芯片、液晶平板显示器、生物制药、医院手术室、负压病房、食品饮料等生产厂房、模块化洁净室及要求严格的微环境、精密机台等，是洁净室空气净化的核心设备。该类设备一般用作洁净室末端出风口的空气净化，其过滤效率及稳定性将极大影响洁净室中精密工序的良率，因此其稳定性及使用寿命要求较高，且需要合理进行系统设计，选用适合的上游各级过滤器对其进行保护。美埃科技产品根据客户需求选用超细玻璃纤维、PTFE 等多种滤材组合，达到高效过滤与低阻力、 高容尘相结合。
初中效过滤器：按形态主要分为板式过滤器和袋式过滤器。主要用于洁净室新风及空调系统的空气预过滤，去除进入室内空气中较大颗粒的杂质、粉尘等污染物，对空气净化系统中高级别的过滤器起到保护作用。美埃科技产品拥有高容尘、阻力低、效率稳定、性价比高的特点。
1.1、化学过滤器
化学过滤器：主要通过滤料中的活性炭及其他特殊材料，对气态污染分子进行捕获，去除空气中的甲醛、VOCs、AMC、腐蚀性气体等特定污染物。该类过滤器主要应用于洁净厂房的特定工序中(如芯片厂的酸洗、蚀刻等)，去除生产工艺中产生的气态分子污染物；也应用于机房与数据中心的防腐蚀控制，保护数据中心与机房控制设 备的稳定运行；此外在排气污染 控制、商业楼宇和住宅中也有所应用。
过滤器生产流程
过滤器的适配兼容情况
过滤器产品可搭配风机过滤单元，应用于洁净室中，是使用最广泛的搭配方式；而洁净室中特定工序、洁净室新风系统、暖通系统则直接搭配特定的过滤器产品。美埃科技过滤器的适配情况、兼容情况、通用性具体如右图：
半导体洁净室
洁净室是半导体行业制造环节中重要的一环，直接决定了最终产品的成败。现代集成电路制造工艺已经达到5纳米级别，集成电路的制造过程一般从自动化软件把算法逻辑生成硬件电路开始，然后将集成电路设计版图转印到光刻板上。集成电路的基础制造材料是硅片，硅片经过各种表面处理后，与光刻板一起经过包括光刻、热处理、介质沉积、化学机械研磨等工艺最终形成集成电路芯片。如果生产过程中空气洁净程度达不到要求，产品良率会受到很大影响。
随着技术的进步，集成电路对洁净度的要求越来越高。一般而言，当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成为了破坏性微粒，对集成电路的制造产生影响。比如，14纳米工艺中7 纳米的微粒就会影响制造过程。随着集成电路的工艺越来越高，目前3 纳米的工艺已经开始研发，集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。
集成电路产业链几乎所有的主要环节，从单晶硅片制造、到 IC 制造及封装， 都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。
半导体洁净室空气净化的三个阶段
半导体洁净厂房通常采用垂直单向流的方式，通过推出作用将室内污染的空气排至室外，从而达到净化室内空气的目的。洁净室空气净化主要分为三个阶段：
第一阶段，使用初中效过滤器进行预处理：通过空调控制温湿度，同时通过其中搭载的过滤器对室外进入室内的新风进行预处理，拦截空气中常见的大颗粒物。该环节的设备位于洁净室（生产车间）物理隔离层壁板外部，预处理完成的空气将进入洁净室壁板内部。
第二阶段，使用风机过滤单元进行深度过滤：风机过滤单元（含高效/超高效过滤器、化学过滤器等）位于洁净室内部，满布于洁净室（生产车间）物理隔离层内部的顶端，对第一阶段预处理后的空气中未能处理的其他细微颗粒物、气态分子污染物、微生物进行进一步处理，以达到半导体生产车间的空气极高净化等级要求。
第三阶段，内部空气持续循环：洁净室内部空气循环净化，回风通过高架地板及回风夹道，送至风机过滤单元（含高效/超高效过滤器、化学过滤器等）重新过滤后送入洁净室内重复使用。
2、空气过滤器行业市场广阔，美埃科技半导体领域积淀深厚
近年来随着芯片行业、液晶面板行业、生物医药行业及食品加工行业的产业升级、产品更新换代，大量企业新建高标准的洁净厂房。根据沙利文数据，中国洁净室设备市场规模在2019年已超过900亿元，至2024年将超过1,400 亿元。
根据中研网数据，2019 年我国空气过滤器行业市场规模达到94.5亿元。随着经济结构的不断转型和对空气质量要求的不断提升，对空气过滤器的需求会不断增加，预计2025年我国空气过滤器行业市场规模会达到150亿元（以 8%的增长率测算）。
半导体空气过滤器竞争格局：AAF和Camfil两大巨头
在洁净室过滤器领域，美埃科技主要的竞争对手包括国际品牌主要包括爱美克AAF、康菲尔Camfil。
爱美克（AAF）：作为全世界最大的空气过滤解决方案制造商之一，其生产、仓储和配送设施及售后服务遍布四大洲 22 个国家。AAF 国际公司总部位于肯塔基州路易斯维尔市，致力于通过开发和制造高品质的空气过滤器和过滤设备来保护人员、 工艺流程和系统。爱美克的母公司是位于日本大阪的大金工业株式会社(6367.TSE)，系一家多元化的国际制造公司和全球领先的空调企业。爱美克主要产品包括空气过滤器、洁净设备、隔离防护设备、化学过滤器、 化学过滤设备等，其生产、仓储和配送设施及售后服务遍布四大洲22 个国家。 爱美克于 2000 年进入中国，分别在苏州、深圳、武汉、台湾设立了 4 间工厂，总部位于苏州。截止2017年初，爱美克在全国共建立了14个销售办事处，2016年度销售额达6亿人民币(含台湾地区 5,500 万人民币)，销售网络覆盖全中国。
康菲尔（Camfil）：康菲尔集团总部位于瑞典斯德哥尔摩，是空气过滤设备和洁净空气解决方案的生产和研发领域的世界专业品牌。康斐尔在美洲、欧洲和亚太地区共设立了28 家生产工厂，6 座研发中心以及遍及全球的销售公司。该公司主要产品有初中效过滤器、高效过滤器、FFU、高效送风口、生物安全过滤器、化学过滤器。根据康菲尔官方年度报告的数据，康菲尔 2020 年遍布全球的 30 个营业部的销售额为 92 亿瑞典克朗，折合人民币约 73 亿元。
美埃科技：通过 20 多年研发投入和经验积累，公司与中芯国际、上海微电子等客户建立长期稳定合作关系。
空气过滤器行业壁垒深厚，美埃科技具备核心竞争力
美埃科技所处的是空气洁净行业，以半导体领域为例，洁净室是下游制造核心环节。公司通过采购风机、滤材滤料、板材和型材等上游材料，部分核心的领先材料由公司自主研发，例如PTFE 膜材料，由公司与上游合作方联合研发，并已实现60%-70%国产替代；纳米纤维材料和改性活性炭，公司拥有独特的改性技术， 比如高效及超高效过滤技术、浸渍型化纤滤材改性技术、分子筛技术、活性炭吸附技术、离子交换纤维技术等，通过酸洗、改性溶剂配方、浸渍比控制等工序使产品性能领先行业水平。加工制造成过滤器、风机过滤单元和空气净化器产品，其中过滤器产品既可以作为零部件用于另外两个产品的生产，也可以单独对客户进行销售，公司的核心技术是基于对应用技术、材料技术、产品的深度了解和研究而形成的有竞争力的综合解决方案。公司产品的应用场景包括洁净室空气净化、室内空气品质优化、大气污染治理，其中洁净室场景的收入占比最高。
洁净室指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需求进行控制的密闭性较好的空间，按照特定的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。污染敏感零件的批量生产需要在洁净室中完成。洁净室需使用风机过滤单元（FFU）进行空气过滤以及高架地板进行空气循环。空气中的微粒浓度越低，洁净室的洁净度越高。
国际标准ISO14644 是洁净室的洁净等级标准，根据每立方米中不同粒径颗粒的数量，评定相应的ISO1-9 等级。其中，ISO1 级为最高洁净等级，建设及维护成本相对最高，ISO9 级为洁净室的最低等级。各下游应用领域对于洁净室的空气洁净等级要求均有不同。半导体及电子行业，制造特定产品需要无尘且温湿度适当的环境；医药行业及食品行业，制造过程需要无尘、无菌及无真菌的受控环境，且需控制及预防受污染的制造产品外流。一般来说，电子行业的洁净室等级要求最高，为 ISO3-ISO6；医药行业和医疗行业的要求为 ISO5-ISO8；食品行业要求为 ISO6-ISO7；仪器仪表、精细化工行业的要求为 ISO5-ISO6。
对于半导体行业来说，洁净室是制造环节中重要的一环，直接影响产品良率。集成电路产业链几乎所有的主要环节，如单晶硅片制造和 IC 制造及封装都需要在洁净室中完成，且随着技术的进步，集成电路对洁净度的要求越来越高。一般而言，当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成为了破坏性微粒，对集成电路的制造产生影响，电子器件的生产环境对空气颗粒物的存在极为敏感，如果空气中多一颗微米级的颗粒物，就相当于一辆卡车从 10 米高的位置砸向一条电缆，生产出来的电子器件不仅可靠性差，质量不稳定，甚至可能直接报废。比如，14 纳米工艺中7 纳米的微粒就会影响制造过程。随着集成电路的工艺越来越高，目前 3 纳米的工艺已经开始研发及生产，对于洁净室工程技术提出越来越高的要求。
空气过滤器行业壁垒深厚，美埃科技具备核心竞争力
在生产开始前，美埃科技依托于自身空气检测技术和长期积累的空气净化实施经验，对客户的生产环境气体进行采样分析，结合原始空气污染物情况，以及模拟 生产状态释气等复杂过程，确定净化产品所需的核心技术与最优解决方案（如需采用的过滤器等级、是否搭载特定的化学过滤器等）。同时，依托于自身材料改性技术、复杂工艺流程经验、特制加工设备能力等，综合考虑选材、加工及后续使用过程产品自身的密封性保证及不得造成二次污染的需求，确定产品的设计方案与具体工艺、性能要求，进而选取合适的材料（如选用不同型号的玻纤或 PTFE等），以及定制开发所需的加工设备（如定制打折设备等）。
在生产过程中，美埃科技运用自研的“浸渍型化纤滤材改性技术”等专利技术，将自外部采购并不具备空气净化功能的材料，通过酸洗、改性溶剂配方、浸渍比控制、震荡混合等18道工序，将无净化功能的材料进行活化与内部微孔改性，达到提升吸附量、靶向吸附、吸附空间、使用寿命等；运用自研的“高效、超高效过滤技术”等专利技术，经过16道滤芯制作工序，生产强度高、密封性好、阻力低、气流均匀度好的滤芯；运用“一种高效率风机过滤器机组”等专利技术，以及自研的特殊密封发泡热熔胶、快速零泄漏注胶等工艺，生产高效、低阻、高强度的过滤器产品；综合利用“FFU 节能降噪和系统集成技术”等核心技术，生产总静压较高、低噪音、耗电量较低的 FFU 产品。
在生产完成后，美埃科技利用专有的测试技术，对产品进行检测与质量控制，实现产品全生命周期溯源管理，为半导体洁净室客户提供全方位针对性解决方案， 保障客户洁净室达到半导体尖端制程环境对洁净空气度要求（达到去除最小 0.1 微米细微颗粒物净化指标、小于 0.001 微米气态分子污染净化指标等极高空气洁净度要求）。
美埃科技在半导体领域技术积累深厚
芯片制造的全产业链从高端半导体制造、IC 制造、封装测试等各环节都离不开极高洁净度空气的环境保障。空气洁净技术是半 导体产业发展的重要基石和保障。随着芯片领域的技术不断突破和升级，晶圆加工的生产环境及核心设备光刻机的运行环境对空气洁净度有着极高的要求，这也对空气净化设备厂商提出了极高的要求。
美埃科技以 20 多年积累的研发技术实力和客户专业工艺制程应用经验，为半导体洁净室客户提供针对性解决方案。公司自 2002 年起进入半导体洁净室领域，2006 年至今为中芯国际(688981.SH)成都、武汉、上海、北京、天津、深圳、 宁波、江阴、绍兴等工厂供应 FFU、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障中芯国际系的历代产品线(包括中芯国际最先进的 14nm和28nm制程) 对空气洁净度的要求。同时，公司为开发国内首台 28 纳米光刻设备的上海微电子装备(集团)股份有限公司所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准(ISO Class 1 级)洁净环境提供 EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组)及 ULPA(超高效过滤器)等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。
此外，在海外市场，公司系 Intel、ST Microelectronics 等国际半导体厂商的合格 供应商，为其提供空气净化产品。
空气净化是一门跨学科的技术，需要产品设计、生产制造、工艺保障、质量 检验与控制、项目现场运作调试等多方面的综合能力配合。公司基于持续的研发投入，专业领域的长期深耕，在技术突破和经验积累的基础上掌握了材料改性、 滤料复合、产品工艺、设计、系统应用专业解决方案等方面丰富的核心技术。
以中芯国际的上海中芯南方工厂 14nm 制程项目为例，其洁净度要求为:
细微颗粒物净化指标要求:生产环境中须达到任意时点任意位置截取 1 立方米空气中，0.1 微米(0.1 微米相当于头发直径的600-900 分之一)细颗粒检测数值须小于1,000 颗(未经处理前约有几千万颗);
气态分子污染物净化指标:
生产环境中须达到任意时点任意位置气态分子污染物检测浓度比低于百亿分之一(未经处理前浓度约为亿分之三，且生产过程会持续释出气态分子污染物使其浓度进一步上升)。
为达到上述及高等级洁净度要求，公司运用自有核心技术及发明专利生产产 品，其核心技术先进性集中体现在滤料改性、滤芯制作、成品制造、节能高效四个方面。
美埃科技在半导体领域技术积累深厚
公司综合运用核心技术，将不具备空气净化功能的材料按照产品设计通过改性复合制造加工生产性能指标优良的过滤器与风机过滤单元产品。
公司材料主要为滤料、风机等。滤料为单层平铺形态或分散颗粒状态，未经 过进一步加工处理或改性，不能形成有效的过滤层，不具备密封性和结构强度， 不能满足相关应用场景结构形态、过滤效率、阻力、均匀度、寿命的要求;风机 仅具备运转、送风功能，其送风气流无组织情况下不能满足洁净室所需的均匀度、 静压、低噪等功能性要求。
公司由材料改性复合、产品设计制造到系统应用解决方案的流程示意如下:
美埃科技在半导体领域技术积累深厚
1、核心技术应用为过滤器提供核心功能及价值
公司通过运用改性复合技术，使产品形成有效的过滤层，具备密封性及结构 强度，满足设定的过滤效果;运用高效、超高效过滤技术、介质过滤技术、CFD 仿真技术，对滤料进行测试、选型、滤芯设计，实现高强度、低阻力HEPA/ULPA；运用自动换料技术，与系统阻力联动，可大幅度节省人工;运用嵌插接角框架专利技术，实现过滤器高效率快速组装，强度可靠;运用风力发电系统过滤技术， 为风力发电新能源护航;运用活性炭改性技术、离子交换纤维技术、化纤滤料改 性技术，大幅度提升活性炭及相关材料的性能，材料寿命提高 1.7-5 倍，压损降 低 55%-60%，生命期成本降低 20%-50%，颗粒物脱落量极低，实现滤料可再生 性能，达到节能环保、危废减少的效果，系公司市场竞争力的显著技术优势。
2、核心技术应用为风机过滤单元提供核心功能及价值
公司通过 FFU 节能降噪技术和 CFD 仿真技术进行箱体设计，实现低噪音、 低能耗、均匀送风，与配套 HEPA/ULPA 组合，可节能超过 15%。通过FFU 系 统集成技术，采用大规模高速群控系统集中控制，可实现监控超过 10 万台 FFU， 远端故障反馈<8 秒，可兼容交直流风机和多种通讯协议，实现自动组态及无线 控制，并通过优化矢量脉宽调制低谐波技术，助力客户实现整体效率优化。
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