高纯化学试剂在8英寸～12英寸工艺认证中取得较好效果

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2021-02-08   环球过滤分离技术网   guolvfenlitech6

    高纯化学试剂在8英寸～12英寸工艺认证中取得较好效果

在高纯化学试剂产业方面，超净高纯试剂包括无机酸类、无机碱类、有机溶剂类和其他类，用于湿法清洗剂、光刻胶配套试剂、湿法蚀刻剂和掺杂以及芯片铜互连电镀，是集成电路、分立器件、平板显示、太阳能电池等制造用关键材料。预计2014年和2015年全球半导体制造用高纯化学试剂市场将达到26.9亿美元和28亿美元。我国半导体制造用高纯试剂市场规模2014年和2015年有望增长到23.5亿元和27.4亿元。生产超净高纯试剂的企业主要有浙江凯圣氟化学有限公司、多氟多化工股份有限公司、贵州威顿晶磷电子材料有限公司、杭州格林达化学有限公司、湖北兴福电子材料有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、江阴市化学试剂厂有限公司、昆山艾森半导体材料有限公司、上海华谊微电子材料有限公司、上海新阳半导体材料股份有限公司、苏州晶瑞化学有限公司等。在众多工艺化学品企业中，上海新阳开发的电镀硫酸铜及添加剂在8英寸～12英寸铜制程中获得应用;湖北兴福电子材料有限公司磷酸、浙江凯圣氟化学有限公司氢氟酸等也都在8英寸～12英寸工艺认证中取得较好效果，即将投入量产应用。

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