2022-07-28 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech6
TFT-LCD液晶面板结构和薄化目标示意图：
通过对TFT-LCD面板的减薄可实现主要几点面板应用需求： 使用化学或物理方法使面板玻璃的厚度变小，以达到面板轻薄化的目的。 使显示屏重量减轻；提供更清晰明亮的画质。 减少占用空间，减少TFT-LCD模组的厚度，腾出更多空间，如增加电池容量等。 使玻璃基板达到一定的柔性，生产曲面屏幕，增加更好的可视效果。
一、TFT-LCD液晶面板薄化工艺类别、原理和方式介绍
1、在TFT-LCD业界现有薄化工艺主要分为两大类：
1.化学蚀刻（主要方式） 利用液体溶液与表面材料进行化学反应，应用HF与二氧化硅SiO2发生反应并使其溶解的原理，对面板玻璃表面进行化学腐蚀而使面板厚度变薄，6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O
2.物理研磨（辅助方式） 通过机械的研磨作用在玻璃面板上，通过纯物理的方式减薄液晶面板。 液晶面板薄化过程中玻璃厚度变化示意图：
2、TFT-LCD薄化技术概述
化学蚀刻薄化设备和其示意图：
化学蚀刻薄化方式都利用玻璃与化学溶液(HF)产生化学反应(行成“四氟化硅”SiF4)，加上不同物理作用来达到面板薄化目的。
优点： 1.减薄速度较快适合工业化生产； 2.可根据需要调节酸液浓度以控制薄化速度。
缺点： 薄化后面板表面质量较难控制，许多化学薄化方式需后续抛光处理。现有化学蚀刻薄化方式的主要分类：
以上三种化学蚀刻方式各有优缺点且在实际生产中都有所应用
Dip：多片直立浸泡式 1、可以同时间处理多片玻璃； 2、装置大型，外围产生沉淀物，白色粉沫。
Spray：单片直立喷洒式 1、可以处理两面不同蚀刻要求； 2、化学液可有效回收利用使成本相对降低； 3、蚀刻表面易产生凹点（dimple）需要后续拋光处理。
Cascade：瀑布流式 基板上无需任何压力；高回收比例；废液最少；低抛光比例
物理研磨薄化设备和示意图
单面物理研磨薄化技术主要指机械设备抛光方式：
使用抛光粉加纯水形成抛光液做加工介质，下流经机台盛盘与panel之间，借机台运转做相对运动，使硬质磨料（如氧化铈抛光垫等）直接接触面板表面进而切屑panel表面。 主要用于短时间抛光以消除玻璃表面伤痕或其他不良。
二、TFT-LCD液晶面板薄化工艺流程概述
目前薄化工艺主要分为三个阶段：1、封胶工艺2、蚀刻减薄工艺3、研磨工艺
对应主要阶段各自工艺流程如下：
封胶过程现场和设备图：
辅助物流研磨/抛光工艺，主要可分为四段工序概况如下图
对应每段工序操作事项如下：
1、外观检查—研磨/抛光前检查和玻璃尺寸确认 主要工艺事项：抛光不良确认、检验要求分析和玻璃尺寸确认和应用
2、进行研磨/抛光
3、研磨/抛光完成清洗
4、出库外观检验
减薄过程中主要蚀刻不良的分析及处理方法在薄化产品（如：TFT-LCD、玻璃基板等）的减薄过程中发生蚀刻不良主要有：
1、凹凸点和白点 2、表面划伤 3、印痕不良（设备导轮痕、ROOT吸盘印痕和水渍酸印） 4、表面脏污 5、蚀刻不均（流水纹或酸刻条纹） 6、漏酸
一、凹凸点和白点
定义玻璃表面有小坑点或有突出的圆点。
【凹凸点和白点不良成因分析】 （1）玻璃基板内有杂质和气泡，蚀刻后脱落形成凹点，如有化学物质、金属氧化物等杂质，造成不反应或反应不完全时，导致不脱落，则形成凸点； （2）玻璃表面的胶粒没有及时清理，蚀刻后胶粒脱落，与胶粒接触处不被蚀刻从而突出形成凸点； （3）蚀刻时由于玻璃粉粘在玻璃表面没有及时清洗或清洗不到位，则形成凸点。
【参考图例】 （1）不良情况实物图
（2）来料玻璃表面凹凸点放大和示意图
（3）来料玻璃中的气泡或金属氧化物等异物脱落示意
（4）在原子显微镜下查看用纯HF和添加（HF:HCI 10:1）比例的两种情况下“康宁7740玻璃”蚀刻后表面情况图片：![]()
【不良处理和改善方法】 （1）加强来料管控和蚀刻前的检验。 （2）依据薄化企业检控要求，对有气泡或杂质的来料玻璃进行相应清洁或研磨抛光等预处理工作。
二、表面划伤
定义：玻璃基板表面被划伤。
【表面划伤不良成因分析】 （1）玻璃基板含有杂质，蚀刻后脱落成划痕； （2）玻璃在蚀刻前受到划伤，蚀刻后划痕变大且带有酸刻条纹； （3）擦拭玻璃的无尘布多次使用，会导致无尘布硬化，无尘布有胶粒或玻璃碎直接与玻璃发生摩擦导致划伤而出现划痕。
【参考图例】 （1）不良情况实物图 （2）划伤点放大效应图：![]() ![]()
三、印痕不良
定义：玻璃表面凹凸条状痕迹。
【不良成因分析】 Array、CF、Cell制成中与玻璃背面接触的C/V，对玻璃造成凹凸痕迹
【不良处理和改善方法】 找出相关位置的结构部分进行材质或机械动作的改善 定义：玻璃表面圆形圈状痕迹。 【不良成因分析】 ROOT设备吸盘在吸附蚀刻玻璃时，残留在吸盘上的酸液或其他粉末等杂质，未清理干净吸盘表面。
【不良处理和改善方法】 （1）定期检查ROOT设备和液体干净情况，找出异常部分及时定期清理，必要时定期更换易污染配件； （2）蚀刻过滤设备异常导致蚀刻液中杂质增加，产生过多的Sludge，找到相关杂质生成根源（来料蚀刻液本身、蚀刻过程产生异常杂质或设备外部环境因素等），改善蚀刻液的品质、减少或减缓某些异常Sludge，避免Sludge等异物沾附设备；
定义：类似产品表面水干燥后残留的印记。 【不良成因分析】 ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀，BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
【不良处理和改善方法】
加强产品包装和环境管控，改善存储环境监控机制。
四、表面脏污
定义：玻璃表面受到污染。
【不良成因分析】 （1）玻璃在蚀刻前表面受到污染，如：油脂、手指印等污物粘在玻璃表面，形成表面污； （2）玻璃表面有残留酒精、丙酮等痕迹，蚀刻后形成表面污；
【参考图例】 （1）不良情况实物图
【不良处理和改善方法】 加强蚀刻前的检验管理，改善人员作业习惯和操作环境，提高人员的识别脏污能力； 通过“人机法料环”分析脏污改善因素。
五、蚀刻不均（流水纹或酸刻条纹）
定义：蚀刻后玻璃表面出现凹凸不平的条状波纹。 【不良成因分析】
（1）酸液浓度过高，速度出现不均匀情况，蚀刻完成的玻璃没及时进入QDR槽清洗，残留于玻璃表面的酸液继续蚀刻玻璃（表面会出现直线酸刻条纹）；
（2）多次蚀刻的酸液，含有大量玻璃粉，再蚀刻时玻璃粉会依附玻璃表面，阻碍酸液蚀刻玻璃，璃粉若没有及时清洗掉，则会出现严重酸刻条纹，清洗不彻底会出现点状的条纹；
（3）蚀刻时，玻璃脱轨重叠在一起，清洗不到的玻璃面会出现条纹；
（4）酸液液面不能完全覆盖玻璃，蚀刻后严重的条纹；
（5）Conveyer故障：处理故障必须先停止蚀刻液供应，必将造成玻璃表面药液残留，继续与玻璃进行蚀刻速率不一致的反应，形成水波纹状表面不匀；
（6）浸泡蚀刻篮档条的凹槽深浅会有产生条纹的可能；如：篮底档条直径大，抛动时引起酸液变化（速率变快），出现蚀刻不均匀导致严重条纹；
（7）瀑布流分叉：瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉，玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降低造成局部不平整；
（8） 喷淋式蚀刻：Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻速率，形成表面不匀。
【参考图例】
【不良成因处理和改善方法】
（1）加强定期蚀刻设备日常保养，分析设备导致不良成因部分，进行设备材料和控制改进； （2）改善蚀刻液的过滤装置，防止蚀刻液产物堆积于蚀刻平台； （3）加强定期检测监控蚀刻过程中蚀刻液状况变化，确保蚀刻过程中蚀刻液的品质最佳状况； （4）调整蚀刻液配方，使部分蚀刻产物溶于蚀刻液中，减少堆积和堵塞；
减缓Sludge生成参考： 浓度越高，沾附越严重 加入适量的HNO3或介面活性劑可減緩此現象
六、漏酸
定义：酸液从玻璃夹缝、裂缝进入而污染引线脚。
【不良成因分析】 （1）玻璃边缘环氧框断裂、框细、气泡、发白、彩虹等现象，会导致漏酸； （2）玻璃进行封胶时，出现断胶、进胶量不足或进胶外UV胶稀薄； （3）封边的UV胶无固化完好，UV胶不硬化； （4）玻璃夹缝存在酒精、丙酮等稀释物质，使UV胶不能进入，不能完全密封玻璃边缘； （5）操作过程中碰撞造成单片玻璃破裂，酸液由此流入，导致漏酸。
【参考图例】 【不良处理和改善方法】 （1）加强蚀刻前对蚀刻产品的检验管控，提高操作人员的作业能力； （2）改善相关材料（如UV胶）的品质。
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发表于 2022-7-28 07:07:13
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