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过滤技术在太阳能电池制程中的应用

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发表于 2022-11-13 16:33:40 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式





2022-11-13   环球过滤分离技术网        guolvfenlitech6



摘要:太阳能电池制造过程中的过滤运用

流体
应用
过滤器推荐
备注
气体
 
 
Facitilites
POU
 
H2
CVD,PECVDorMOCVD
PTFE膜/PP支撑滤芯
Discuss benefits with customers
Ar
CVD, PECVD,PVD,sputtering
PTFE膜/PP支撑滤芯
N2
CVD,PECVD ,CSS
PTFE膜/PP支撑滤芯
He
CVDorPECVD
PTFE膜/PP支撑滤芯
NH3
CVDorPECVD
PTFE膜/PP支撑滤芯
O2
PVD,
PTFE膜/PP支撑滤芯
(Trichloro)Silane
CVDorPECVD
PTFE膜/PP支撑滤芯
Diborane
CVDorPECVD
PTFE膜/PP支撑滤芯
Phosphine
CVDorPECVD
PTFE膜/PP支撑滤芯
SiH4, GeH4, CH4
PEVCD
PTFE膜/PP支撑滤芯
DI水
Pre RO
 
熔喷滤芯
 
5um
Resin Trap
 
PP折叠或熔喷滤芯
 
1-3um
POU
rinsing,cleaning,dilution
 
PES膜滤芯
0.1-0.2um
废水处理
 
from wafer shaping ﹠ curring
线绕滤芯
 
化学品过滤
HF
etching,cleaning
PES(聚醚砜)膜滤芯
 
精度选择0.1,0.2或 1um
HNO3
etching,cleaning
PTFE膜/PP支撑滤芯
 
H2PO4
etching
PTFE膜/PP支撑滤芯
 
Acetic Acid
etching,cleaning
PTFE膜/PP支撑滤芯
 
NaOH
etching,cleaning
PP折叠或PES膜滤芯
 
KOH
etching,cleaning
PP折叠或PES膜滤芯
 
IPA,
etching,cleaning
PP折叠滤芯
 
HCl
cleaning
PP折叠或PES膜滤芯
 
POCL3
n-doping
PTFE膜/PP支撑滤芯
 
SC1/SC2
cleaning
PTFE膜/PP支撑滤芯
 
Electroless Plating Soln
Front,contact
PTFE膜/PP支撑滤芯
 
SnCl4 solutiln. aq.
formation of SnO2 contact
PP折叠或PES膜滤芯
 
SLURRY
Silicon carbide +PEG
wafer slicing
PP折叠或线绕滤芯
5um
金属电镀
Silver ,Aluminum
screen-printing
PP折叠滤芯
看是否必要




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