高纯度湿电子化学品过滤简介

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2023-09-06             环球过滤分离技术网         guolvfenlitech6

湿电子化学品分类标准

目前，我国的湿电子化学品通常执行SEMI国际标准，其关键技术指标包括单项金属杂质、非金属离子、颗粒数等，另外根据不同产品特点会相应增加其他一些技术指标。

按照SEMI等级的分类，湿电子化学品可划分为G1-G5五个等级。应用领域不同，对微电子化学品的纯度要求也有所不同。

湿电子化学品下游应用

湿电子化学品下游主要应用领域包括半导体、显示面板及光伏等，终端场景主要应用于电子信息产品，例如智能手机、智能电视、智能汽车、电脑等。湿电子化学品的三个主要应用领域对产品的等级要求有所不同：

半导体领域：纯度要求较高，基本集中在SEMIG3、G4、G5水平，我国的研发水平与国际尚存在较大差距。其中分立器件对超净高纯试剂纯度的要求要低于集成电路，基本集中在SEMIG2级水平，国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求；8英寸及以下晶圆制程的中低端领域要求达到 G3、G4 水平，大硅片及12英寸晶圆制程的部分高端领域要求达到G5等级。

平板显示和LED领域：等级要求为SEMIG2、G3水平，国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求。

光伏太阳能电池领域：一般只需要SEMIG1级水平，是目前国产超净高纯试剂的主要市场。

湿电子化学品工艺流程

电子湿化学品的主要工艺流程包括原料接收、纯化、吸收、混配等工艺，制得的成品包装入包装桶或槽车中，检验合格后入库。湿电子化学品对纯度和洁净度要求极高，在生产、检测、包装、运输各环节均有严格要求，其中的纯化技术更是关键点，直接影响产品品质。

湿电子化学品品种众多，产品制备工艺、设备要求各不相同，需根据不同品种特性确定工艺路线。提纯工艺段主要采用蒸馏、亚沸蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏以及升华、化学处理、气体吸收等技术，分离金属杂质。采用超微过滤器（PTFE膜）过滤除去颗粒性杂质。结合不同的颗粒、金属杂质、非金属杂质分析测试技术以达到相应标准的洁净度。

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优异的过滤工艺提升湿电子化学品品质

Ezinstall PFA Housing

电子化学品性质多样性，要求过滤产品必须有广泛的化学兼容性，大立 自主研发的PFA Housing采用全氟结构，化学性能稳定，能适配高腐蚀性、高温度、高压强的过滤环境，低残留，  同时PFA全氟滤壳结构经过优化，安装便捷，滤芯更换方便，有利于在生产中减少停机时间。

BTF-All Fluoropolymer Filter Cartridges

同样采用全氟配件制成的BTF系列滤芯，在酸、碱及其他苛刻的化学料液过滤工艺段都有着稳定的过滤表现，超大的过滤面积高性能滤材在确保超高的截留性能的同时也为产品提供了极佳的通量。全氟结构设计保证产品的超低析出，最大程度保证产品的洁净度。

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