高端IC制造用电子气体完全依赖进口局面改变

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2021-02-08   环球过滤分离技术网   guolvfenlitech6

高端IC制造用电子气体完全依赖进口局面改变

在电子气体产业方面，预计全球半导体用电子气体市场规模2014年和2015年市场规模分别达到35.8亿美元和37.2亿美元，我国半导体制造用电子气体2014和2015年将分别达到27.4亿元和32.8亿元。国内从事高纯电子气体生产的主要企业有中国船舶重工集团公司第七一八研究所、苏州金宏气体股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、佛山市华特气体有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、南京特种气体厂有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司等十几家企业。经过多年的努力，我国电子气体行业已改变了高端集成电路制造用电子气体完全依赖进口的局面。中国船舶重工集团公司第七一八研究所、佛山市华特气体有限公司等单位的NF3、WF6、C2F6等部分气体品种已大批量应用于国内8英寸、12英寸集成电路生产线;多家气体公司的产品在LED及平板显示行业也有不俗表现。


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