超净高纯氢氟酸SEMI标准等级

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2021-01-13  环球过滤分离技术网  guolvfenlitech3

超净高纯氢氟酸SEMI标准等级

       国内目前生产高品质的超净高纯氢氟酸企业大约有 10 余家,主要是多氟多化工股份有限公司,福建省邵武市永晶化工有限公司,浙江凯圣氟化学有限公司,苏州晶瑞化学有限公司,江阴江化微电子材料股份有限公司等.

       国内企业通常参照行业标准:工业高纯氢氟酸 HG/T 4059-2013 标准,此标准根据产品中杂质离子含量的不同将高纯氢氟酸分为 EL 级,UP 级,UP-S 级,UP-SS 级, EL 级主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器的制造以及作为生产其他高纯氟化物的原料;UP 级主要用于线宽为 0.8~1.2 um 集成电路的清洗和蚀刻;UP-S 级主要用于线宽为 0.2~0.6 um 集成电路的清洗和蚀刻;UP-SS 级主要用于线宽为 0.09~0.2 um 集成电路的清洗和蚀刻;两项标准的不同之处在于国内的标准相对于国际标准而言比较宽松.个别指标不做要求;另外国内行业标准适用于集成电路渊IC冤芯片的清洗和腐蚀,国际标准适用于集电路渊IC和超大规模集成电路VLSI芯片的清洗和腐蚀;综上从标准的执行情况和制修订的范围来看中国的超净高纯氢氟酸在产品质量和应用领域上都与国外企业差距较大也间接说明了中国半导体行业与国外的技术水平差距;

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