高纯气体输送用的阀门与管线

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2021-02-03   环球过滤分离技术网   guolvfenlitech6
高纯气体输送管路系统的质量好坏，将会直接影响到高纯气体的纯度、洁净度、干燥度。因此，对于高纯气体输送系统的设计、选材、加工制造、洁净处理及安装使用过程中的各环节严格控制都有十分重要的意义。

1 材料表面处理

    未经处理的材料表面会粘附有氧化皮，油污、灰尘、金属碎屑等杂质。如果将不经处理或处理得不彻底的材料用于高纯气体管路系统，气流的冲刷、温度及压力等因素的变化，对材料表面出气会造成影响，会不可避免地造成气体质量下降和洁净管道污染，甚至引起部件损坏与报废。众所同知．金属材料的表面与气体分子存在着吸附与解吸现象，当气体的压力、温度等条件一定时，吸附与解吸只与材料实际表面大小及处理情况(抛光、清洗等)有关。因此，对高纯气体输送装置的表面进行处理主要有两个目的，即清除材料表面的有害杂质和获得高质量的表面光洁度。清洗工作的一般顺序为机城清洗、酸洗、去垢清洗和去油脱脂。国外多采用在密闭的塑料容器中加入三氯乙烯，用超声波清洗的方法对管阀件成品进行最终清洗，以保证电子级高纯气体管阀件的特殊洁净要求。

2 材料的选择

实践证明，高纯气体输送管路采用不锈钢材料较为理想，不锈钢对杂质及水份的活性较其它材料弱，耐腐蚀及机械工艺性、综合经济性都较好。对于抽真空的系统来说，不锈钢的出气率也较低，仅为铜材的十分之一，为橡胶树脂的千分之一。要特别注意的是，由于所有气体对有机聚合物都有较高的渗透率，因此，在高纯气体的管路中绝对不允许使用非金属管线、密封垫片，以及非金属隔膜的减压阀、膜片阀等。否则，系统内外气体的相互渗透将会降低气体的质量。在实际应用中，材料的选择必须考虑使用介质的性质及使用条件(温度、压力、环境)。并且，不锈钢材料也不适用于任何浓度的盐酸。管材必须选用无缝管材。管子的内外表面质量、外径公差及圆度要符合设计要求。表面擦伤及任何一种即使不太明显的内外表面缺陷都是应力源，都会引起腐蚀的不均匀性，从而降低了在交变载荷和活性介质作用条件下管道的耐腐蚀—— 疲劳破坏能力。在旋工和运输中，不能把管子在地面及硬的物体上拖拉，以免划伤管子表面。管子外径及壁厚的选择除了考虑系统的压力、流量外，还要注意采用卡套连接的管子壁厚要合适。管壁太簿，卡环将会压坏管子；管壁太厚，卡环就不能使管子恰当变形，同样起不到密封作用。

3．必须注意不要使管子在受力状态下

这种结构无论采用什么连接方式，都很难保证管子两端的密封面同时部完全接触，而且温度变化时，将会使密封表面移动改变。

4．弯管必须冷加工

并且要使用台适的机械，不准重复弯管。弯管处有压扁、弯折、起皱现象的管子不能使用。

5．管子锯开或切开

要保证管子切口与管壁垂直，最好使用专用工具清除管子切口内外的毛刺。特别注意不要让碎屑进入管内，并要用洁净的空气或氨气吹除。因为旋工实践表明，管道内的金属碎屑，多是此时残留下来的，对小13径管( 3ram 以下)不可用锯锯断，可用三角或尖锉绕管外径统一．圈沟槽，然后断开，避免毛刺堵塞内孔。

6．在安装阀门时要注意阀体上的流向

标志安装应使得当工作系统有压力时，总是把压力端接到阀头下面的空腔，而不是接到阀头上面的填料或膜片处。当阀门处于关闭状态时，这种连接方式可保证工作系统发生外瓣的机会最少。阀门要安装在显眼和容易操作的位置，不要让操作者的手通过很冷或根热的物体去操作阀门。阀门不能以手轮垂直向下的位置倒置安装，以防系统中可能的杂质积聚在阀腔中，使得损坏阀门。


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