半导体工艺过滤精密过滤膜的孔特性评价

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2020-06-26  环球过滤分离技术网     guolvfenlitech6




半导体工艺过滤精密过滤膜的孔特性评价



标准颗粒过滤法

将滤液用MF过滤，用扫描电镜观察滤膜表面，可更好的判断滤液中的微粒。作为这种标准颗粒的代表，有Dowchemical Co.,LTD销售的聚苯乙烯均匀标准乳液（Polystyrene uniform latex）,其中有微粒的平均直径为0.234μm，标准偏差为0.0026μm等均匀的标准乳液。

实际实验中，用粒径为0.234μm的微粒过滤判断0.22μm的孔径，用粒径为0.481μm的微粒过滤判断0.45μm的孔径；











使用标准颗粒乳液的电子显微镜照相判断孔径



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