扫描电子显微镜 FlexSEM 1000

信息编号 : 1014 发布时间 : 2023-8-11 05:00 该信息长期有效浏览 : 23次

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信息详情

规格

项目		内容
分解能*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速电压		0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率		6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （显示倍率）
低真空模式		真空范围：6 ～ 100 Pa
电子枪		预对中钨灯丝
样品台		3-轴自动马达台 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～＋90°
最大样品尺寸		直径80 mm
最大样品高度		40 mm
尺寸		主机：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供电单元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探测器选配		高灵敏度低真空二次电子探测器（UVD）能量分散型X线探测器（EDS）

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