场发射枪扫描电镜（S-4800）

仪器型号：S-4800

生产厂家：Hitachi，日本

联系方式：010-82543460 or 3557; xmmeng@mail.ipc.ac.cn

仪器简介：S-4800扫描电镜利用电子束与物质相互作用产生的各种信号进行成像，对样品进行形貌和成份分析。主要技术指标：电子枪和高压：冷场发射枪，加速电压0.5-30kV。分辨率：二次电子分辨率：1.0nm（15kV），2.0nm（1kV）；背散射电子分辨率：3.0nm（15kV）。能谱：可鉴定的元素成分：Be-U，分辨率：127eV。

功能用途：利用二次电子图象、背散射电子图象，可进行生物、化学、矿物、半导体、纳米材料等金相样品、断口样品的表面形貌观察。利用能谱仪进行微区成分分析。