钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows?平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和***图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

分析潜力：

· LM大样品室、5轴马达驱动样品台

· 样品室有11个接口，适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头

· ***YAG 闪烁体探头

· 选配包括了各种探头于可选的配件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观测不导电的样品（LMU型号）

· 可选的样品室减振方式

· 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH
高真空式SEM，配备有5轴马达驱动样品台，适用于观测小型导电样品。

VEGA3 LMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品，不需要喷金

标配：

· 测量

· 图象处理

· 3维扫描

· 硬度测量

· 多图像校准

· 对象区域

· 自动关机时间

· 公差

· 编程软件

· 定位

· 投影面积

· EasySEM^TM

选配：

根据实际配置和需求

标配：

· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

· 探针电流测量

· 压差式防碰撞报警装置

· 可观察样品室内部的红外线摄像头

· 冷台

· 等，各种附件可供选择

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