“先进的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。
特点
• 紧凑型设计,分辨率为4 nm*1
• 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
• 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片
• 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
• 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2
*1设置在桌面时,分离主机和电源箱
*2选配
规格
项目 | 内容 | |
---|---|---|
FlexSEM 1000 | FlexSEM 1000 II | |
分辨率*3 | 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式) | |
加速电压 | 0.3 kV~20 kV | |
倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (显示器显示倍率) | |
低真空设置 | 6~100 Pa | |
电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament) | |
样品台 | 3轴马达驱动样品台 X:0~40 mm、Y:0~50 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° | 3轴马达驱动样品台 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° |
最大样品尺寸 | 直径80 mm | |
最大样品高度 | 40 mm | |
尺寸 | 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm 电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm | |
选项 |
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软件 | Zigzag(连续视野图像导入功能) | Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |
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