飞纳台式扫描电镜 Phenom XL

仪器功能

用于多种材料如无机非金属材料、高分子材料、复合材料、金属材料等多种性能的表征，开展进行样品的低真空检测，导电样品及不导电样品的直接观察等科研工作

技术参数

  1.放大倍率：电子放大倍率达到10万倍；

  2.分辨率：分辨率优于20nm；

  3.检测器：高灵敏的背散射电子探测器；

   4.操作界面：配合光学导航和低倍电子导航；

  5.载样抽真空时间成像时间：小于40s；

  6.灯丝寿命：单根灯丝能保持1500小时寿命（设备本身有灯丝统计功能）；

  7.样品室大小：样品室样品尺寸X：100mm，Y：100mm，Z：65mm ；

   8.支持不导电样品直接观察：低真空模式，绝缘体直接观测不需喷金；

  9.能谱探测器能量分辨率：优于137eV（Mn Kα)。能谱具有拟合功能；

  10.元素探测范围：B（5）-AM（95）。

型号：

Phenom XL

产地：

荷兰

飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版----Phenom XL

Phenom World 公司隆重推出飞纳卓越版 Phenom XL

Phenom XL （电镜腔室 100mm x 100mm）具有飞纳电镜系列以下优点：

超高分辨

—— 14 nm，du家采用长寿命 1500 小时、高亮度的 CeB6 灯丝（世界shou家）

快速成像

—— 抽真空时间小于 30 秒（世界shou家）

简易操作

—— 光学 + 低倍电子导航定位，结合全自动马达样品台移动观测位置（世界shou家）

直接观测绝缘体

—— 低真空设计，实现不喷金看绝缘体，且不影响灯丝寿命（世界shou家）

高度自动化

—— 自动聚焦，自动调节对比度亮度，拍照简单快速

放置环境无特殊要求

—— 无需独立实验室，无需超净间

防震设计

—— 紧凑的一体化设计，可不用防震台摆放在高层（世界shou家）

节能高效

—— 整机zui大功率 300W

远程联网检测

—— di一时间通过远程联网诊断，售后无忧（世界shou家）










同时，Phenom XL 做出了如下改进，使其在拥有台式扫描电镜操作简单等特点的前提下，具备大型落地式电镜的高分辨率、多功能和拓展性强等优势：




1、Phenom XL 成为台式扫描电镜中腔室zui大的，电镜腔室由原来的 32mm 扩容为 100mm x 100mm，一次可容纳至多 36 个 1/2 英寸样品台，测样效率进一步提高。自动马达样品台的移动范围为 X = 50mm，Y = 50mm（可选配X=100 mm,Y=100 mm）







Phenom XL 的样品台










2、Phenom XL 提供高、中、低三级真空，可以选配二次电子探测器
















3、背散射电子探头性能依然优异，背散射电子信号强度跟样品成分衬度有关，可以和能谱良好结合起来







背散射 1000X




（背散射电子数量与元素的原子序数成正比，元素的原子序数越高，背散射电子数量越多，该元素在图像中的表现越亮）




样品未喷金，采用背散射电子成像，更高倍数下清晰看到多种成分衬度，沿着箭头方向从内到外可以看到 4 种不同的成分衬度，且分界线非常明显。代表这 4 个位置元素含量各不相同，并且沿着箭头方向，重元素占比越来越低。













4、低电压下成像优势明显，低电压模式下，可以减少对样品的损伤，穿透，能观察到样品表面更真实的形貌










二次电子 5kV, 5000X











二次电子 5kV, 5000X








二次电子 5kV, 10000X










二次电子 5kV, 15000X











5、可拓展拉伸台，压力台，大角度倾斜台，高低温样品台等功能性选件




● 全自动显微平台Phenom XL + 拉伸台


　　拉伸台是飞纳台式扫描电镜Phenom XL 一项重大拓展。拉伸台是一种动态观察和分析材料微观变形形貌及断裂机制的手段,在材料科学qian沿研究中发挥了重要作用。扫描电镜原位拉伸台的zui大特点是,在进行应力—应变力学定量测试的同时, 利用扫描电镜的强大的景深、高空间分辨和分析功能，在微观层面上对材料的力学性能进行动态研究。拉伸台可以为很多材料做拉伸测试，如金属材料(研究韧断过程、应力诱发相变及塑性变形),高分子材料，陶瓷材料等。飞纳台式扫描电镜的原位拉伸台能实现 2N to 1000N 的拉力区间，拉伸速度可实现 0.1mm/min 到 15mm/min，满足几乎所有领域样品的原位拉伸观测。







飞纳台式扫描电镜 Phenom XL 拉伸台




6、Phenom XL 可选配所有的拓展功能软件选件，如 3D 粗糙度重建系统，纤维统计分析测量系统，孔径统计分析测量系统等







Phenom XL 详细技术参数：




温度：操作环境 15℃ - 30℃

湿度：<80%RH

光学放大倍率：3-16 倍

电子放大倍率：zui高 100,000 倍

电子光学分辨率：优于 14nm

光学照明：光学 CCD

电子光学照明：CeB6 灯丝

电子枪灯丝寿命：优于 1500 小时（单根灯丝，电脑有灯丝使用时间计数功能）

电子枪加速电压： 5kV-20kV 连续可调

电子枪灯丝更换对中方式：软件自动对中

电子光学探测器类型：高灵敏四分割背散射电子探测器，可同时显示成分和形貌信息；二次电子探测器选配

X 射线能谱探测器类型：硅漂移（SＤＤ）探测器类型，可实现微区定向分析，即点击感兴趣的部位，即可完成该点的元素定性定量分析

能谱探测器冷却方式：无液氮消耗，采用半导体 Peltier 效应制冷

元素探测范围：Boron（5）- Americium（95）

能谱探测器能量分辨率：<137eV（Mn Kα)

集成能谱 EDS（能谱探头集成在电镜主机内）

真空系统：低噪音无油隔膜泵，涡轮分子泵

样品台移动方式：软件控制的马达驱动，通过鼠标点击目标区域后，样品台自动移动至目标区域画面居中，可实现电镜图像即点即得功能

软件平台：不易受病毒影响的 linux 系统，支持 U 盘及网络存储图像

网络远程检测功能：可通过互联网远程控制及监测仪器

图像观测导航界面：彩色光学全景导航和电子图像局部导航同时显示

图像格式：jpg，tiff，bmp

图像分辨率： 456x456；684x684；1024x1024；2048x2048

自动图像调整功能：自动对焦、自动调节对比度和亮度

观察模式： 标准模式、降低荷电效应模式

图像显示模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式 A（3D）、形貌模式 B（3D）

全景图像拼合功能：可自动连续扫描指定大小区域，每分钟可采集超过 100 张 1024x1024 分辨率的图像，zui大分辨率达 1 亿像素，所的图像自动拼合为一副全景图像

能谱拟合功能：可自动或手动进行元素谱峰识别，并可利用可视化峰剥离技术验证重叠峰识别的正确性