激光扫描共聚焦显微镜Axio CSM700系统介绍Axio CSM700 真实色共聚焦显微镜以共聚焦光学为基本原理, 使用高速线扫描为成像方法, 并采用氙灯为真实色光源, 是一款能够快速提供工业零部件表面彩色三维轮廓, 并且完全不接触测试样品的仪器设备。它具有三大“独门绝技” :共聚焦、线扫描、白光源。由于采用了共聚焦成像原理,Axio CSM700 将传统光学分辨率提高 1.4 倍,其 XY 方向线分辨率达到 160 nm。 同时, 在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上, Axio CSM700配备了精度高、重复性好的 Z 轴自动步进装置,*小步进精度达到 10nm,这使得高度上亚微米,甚至纳米尺度的非接触式**测量成为可能。传统共聚焦采用点扫描成像,速度较慢;而 Axio CSM 700 采用线扫描,成像速度大大提高,快的 WF 模式扫描速度超过 100 幅/秒,可以说瞬间即可得到测量结果,大大提高工作效率。同时, Axio CSM700 使用白色光源, 能够展现被测试样表面的真实颜色, 从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。线扫描共聚焦成像原理
氙灯照明器 1 发出的白光经过线性照明器 2 变成一组线光源, 该组线光源随着 2 的**移动从而实现在 XY 方向的线扫描。扫描光束经过半反半透分光镜 3,然后到达物镜*终到达样品表面 4,携带样品表面高度信息的光束从样品表面 4 反射, 经过分光镜 3 以及聚焦棱*后到达线性探测器 5,该线性探测器 5 通过与线性照明器 2 的**同步,实现仅对焦平面光线的探测,也就是满足共聚焦基本原理的探测。*后,通过精密 Z 轴自动步进装置移动样品 4,得到样品表面不同高度位置的一系列聚焦图像,计算机系统计算得到样品表面三维形貌。
感受来自Carl Zeiss 的新产品Axio CSM 700无与伦比的功能,展示高分辨率真彩色三维立体表面。
真彩色共聚焦显微镜(Axio CSM 700)能够在质量检测、物证、文检、法医和材料的研究领域得到广泛的应用。在物体形态测量过程中,对物证表面进行非接触式测量,其图像的传输速度可高达100帧/秒。具有易操作性的软件设计提供了多种图像分析功能,包括:测量、薄层厚度评估和微量分析,另外还可以对图片和测量的结果进行概述和汇报。
视野大小 | 物镜放大率 | 视野 |
10x | 1168 x938 | |
20x | 584 x469 | |
50x | 234 x188 | |
100 x | 117 x94 | |
实时图像分辨率 | 1280 x 1024 像素 | |
横向分辨率 可重复性的横向测量精度(3 σ) 可重复性的高度测量精度(1 σ) | 160 nm 10 nm, measurement of 5 μm line-space-pattern, obtive EC Epiplan-Apochromat 100x / 0.95 | |
光源 | 疝气灯(波长范围:400到700nm) | |
获取图像速度 | 7.5 fps (高速彩色模式); 超过100 fps (图形接线框模式) | |
色彩灰度级 | 3 x 8 bit (RGB) | |
高度测量 | 最大测量范围15 mm; 最小步进单位10 nm ; 16位精度 | |
最大测量高度 | 63 mm | |
图像数据处理和测量 |
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