K-MAC膜厚多功能测量仪

测量方法： 非接触式

测量原理：反射计

类型：手动的

平台尺寸： 4" （可选6" ）

活动范围：150 x 120mm(70 x 50mm 移动距离)

测量范围 ：20nm-5um(根据膜的类型)

目镜倍率：20x 典型值 （可选10x、50x）

测量速度：1~2 sec./site

照明类型：12V 35W Tungsten-Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer

尺寸：190 x 265 x 316 mm

重量：12Kg

探头类型：三目探头

可供选择：标准样品(K-MAC or KRISS or NIST)

半导体：Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS + Si, Ge, SiGe... 介质材料：SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,... 平板行业：(包括 LCD, PDP, OLED, ): a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx MgO, AlQ3 , ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide... 光学涂层：硬度涂层、增反射薄膜、Color Filters、封装与功能薄膜... 太阳能电池： Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..) 聚合物：PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR... Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, Photo masks, Optical disk 其他：示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板、金属薄膜、激光镜...