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WS-650-23B匀胶旋涂仪

信息编号 : 560 发布时间 : 2021-7-8 07:42 该信息长期有效 浏览 : 176
  • 信息类型 : 供应信息
  • 区域名称 : 上海市
  • 类别从属 : 微电子半导体实验分析仪器 - 匀胶旋涂仪
  • 付款方式 : 电汇
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信息详情


        匀胶机应用领域广泛,目前市场品牌众多,但品质良莠不齐,Laurell匀胶机WS-650-23B凭什么脱颖而出,成为行业的明星产品?





高性能马达驱动

NIST认证

• 最强动力加速度:80000RPM/S(空载),30000RPM/S (负载)【参考:100mm直径标准晶圆片,标准真空托盘】;



• 旋转速度范围:1~12000RPM;


• 直流驱动马达,超长使用寿命(超过10年的使用历史);


• 伺服电极分辨率:可达4000p/rev;


• 速度精度:0.0RPM;


• 可重复精度:0.0RPM;


• 获得NIST认证;


众所周知,马达的转速和精确度是影响旋涂效果的核心因素。WS-650-23B的马达性能优于其他任何一台匀胶机,并获NIST国际认证,品质保证。




多功能控制器,蓝牙无线连接


控制器内一般有预制的PLC程序段,但其差异较大,有简易型控制器,只通过简单的电控调速技术将旋转速度简单分为2~3个档位,低档用于甩开胶液,高档用于均匀涂布。而WS-650-23B匀胶机的新一代650型高性能数显控制器,可非常方便地设定速度和加速度程序段,20个51步程序段或者手动模式;可通过蓝牙连接电脑,多台电脑控制一台设备,操作者随时随地自由实现人机交互;并配备SPIN3000操作分析软件,功能多样的定制化操作,实时监测分析存储数据;可重复性达到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM,设置点精度小于0.006%;获美国NIST激光测量标准认证,无需校准。


国产无油真空泵实在不敢恭维,若真空吸附力过小,会导致基片吸附不住而“飞片”,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成堵塞,用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗;若真空吸附力过大,又会造成样片形变。而WS-650-23B匀胶机具有良好的真空吸附联动机制,外接无油真空泵,可随时调节并屏幕监测真空数值,如果真空吸附力不够时,设备不会开始旋转。




独家CDA/N2 气体流保护技术


易维护,易清洁,大幅提高匀胶机使用寿命。90%以上的匀胶机故障和精度损毁是由于胶液不慎进入马达周围而造成的,而我们独家专利的气流保护技术大大降低这一故障的发生。




天然NPP/Teflon/PTFE腔体材质


大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,这种材质成本很低,不锈钢对于各类化工胶液的抗腐蚀性不好,塑料在较高温度和压力下易产生变形。而Laurell匀胶机均是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(Teflon / PTFE)材质。这两种材质具有绿色环保、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用抗腐蚀、花纹自然、光泽度好等优点。


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