Liquid NanoParticle

Liquid NanoParticle Sizer / LNS

1. Scanning Threshold Particle Counter / STPC

（纳米级别不溶性颗粒污染物的浓度）

设备采用专利雾化(Nebulization)和凝聚核(CPC)技术。

与传统光学原理不同，可有效避免“气泡(Bubble)、折射率、载体介质、待测样本中颗粒材料和性状等”对测试的不良影响，检测纳米级别颗粒物污染物低至最小10nm，分别显示10nm、15nm、20nm。

 2. Liquid NanoParticle Sizer / LNS

（Slurry和部分化学品中的粒径分布）

设备采用专利雾化(Nebulization)、凝聚核(CPC)和电迁移率技术。

符合SEMI C98最新版本要求，可以有效地对悬浊液或非澄清液体中的颗粒数量、颗粒浓度和粒径分布做测试（诸如最有代表性样品是CMP Slurry），粒径范围：6-360nm @ 64 size bin per decade                                    

3. Fast CPC / FCPC

设备采用专利雾化(Nebulization)和凝聚核(CPC)技术。快速直接检测气体/烟气中纳米颗粒物的浓度，可每秒生成一笔测试数据，粒径范围：1.9nm-3 µm。在极端的测试要求下，最快反应时间可达到20毫秒/笔，为连续动态测试提供优质的解决方案和测试设备。

联系及咨询方式：13641925682