Chem 20™ 化学式粒子计数器

Chem 20™ 化学式粒子计数器

灵敏度: 20 - 100 nm

Chem 20™ 化学式粒子计数器

尖端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度最高的高纯度工艺化学品粒子传感器。

来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，便能够快速检测化学颗粒源。

特点

新增离线采样功能

先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm

自带化学流量计用于设定样品流量

针对不同折射率的化学品进行监测，以提高数据可靠性：

Chem 20：适用于折射率较低的化学品

Chem 20-HI：适用于硫酸和其他折射指数较高的化学品

内部泄漏监测：在内部化学品泄漏时提供报警

低流量监测器和报警器，以确保数据一致

宏观气泡探测器用于保护传感器性能

本地数据显示

优点

实时监测20 nm PSL和9 nm Au微粒

监测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）

在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移

优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工节点的整个过程

改善样本的数据统计，加强过程工艺控制

针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间

传统数据采集系统能够灵活通信

便捷的在线和离线20nm监测

应用

化学输送系统内的实时粒子监测

流程监控点

化学包装操作监控

化学过滤器性能和

效率描述

化学处理部件的性能测试

化学品质量验证