20nm化学品批次采样解决方案 (SL

20nm化学品批次采样解决方案 (SLS-20离线液体粒子采样器)

制程化学品的粒子监测是半导体行业的关键质量控制点。前沿的微电子制造商需要非常干净的制程化学品，所需监测和过滤的粒子粒径大小至20纳米及以下。

美国粒子监测系统公司（PMS）的Chem 20™ 提供了充分的监测灵敏度，可实现在线监测粒径20纳米的粒子。