离子溅射仪ISC150 （低真空）

进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源，确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM 扫描电镜样品的喷金用途。触摸屏控制，即插即用。（PS:机械油泵可升级为无油干泵，超净间内专用）

选配原位离子清洗模块，实现SEM样品碳氢污染（有机物积碳污染）清洗，样品表面活化和亲水化。