粒子计数器 LiQuilaz® II S

粒子计数器LiQuilaz® II S Series

LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器，有不同的灵敏度，高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析，例如氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性，深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能，新功能提高了监测的灵活性，而且使安装变得更加简单。体积式粒子计数器通过监测100%采样体积（多达80 毫升/分）提供高精确度的结果，所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。特点0.3 -3.0μm大小区间流量是80 ± 10% 毫升/分钟和广泛工艺化学品相兼容体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置用户可选择的粒径值灵敏度: S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm使用压缩采样进行冒泡的化学品测量化学质量保证工艺槽监测去离子水监测化学品传输系统光刻胶监测