JSM-5610LV型扫描电子显微镜

　型号：JSM-5610LV

　　生产国别厂家：日本电子株式会社

　　主要技术指标：

　　  高真空模式分辨率：3.0nm;

　　  低真空模式分辨率:4.0nm；

　　  放大倍数: 18X～300,000X

　　  加速电压: 0.5KV-30KV

　　  低真空度：1Pa～270Pa

　　  图像种类:二次电子像、背散射电子像、成分像、拓扑像。

　　  图像输出方式：存盘、打印、照像。

　　原理及应用：扫描电子显微镜是利用电子枪射出的高能电子束，在试样表面作行帧扫描，激发出各种物理信号，这些信号的强度取决于试样表面特征的扫描电子图像。JSM-5610LV扫描电子显微镜主要用的工具。JSM-5610LV扫描电子显微镜配有低真空系统，对非导电样品可以直接进行观察和分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门，低真空技术有着突出的作用；对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经过特有的简单处理后，也可以直接观察。

　　X射线显微分析系统（能谱仪）（EDS）作为扫描电镜的附件配置在JSM-5610LV型扫描电镜上使用。

　　型号：Phoenix　  

　　生产国别厂家：美国通用公司（EDAX）

　　主要技术指标：分辨率：优于129cV；

　　  MK峰背比：20,000:1;

　　元素探测范围：探测到低至铍（包括铍）的所有元素

　　主要用途：元素的定性、定量分析、粒度分析、相分布及图像处理，P hoenix能谱仪是具有图像及成分图的能谱分析系统，具有分辨率高和定性、定量准确等特点。

　　Model: JSM-5610LV

　　Manufacturer: JEOL Ltd., Japan

　　Main specifications: Hv Mode Resolution: 3nm

　　LV Mode Resulution:4nm

　　Magnification :18X～300,000X

　　Accelerating voltage :0.5Kv～30kV

　　Low Vacuum Degree :1～27Pa

　　  Energy Dispersive Spectrometer (EDS)

　　EDS is used on JSM-5610LV as its accessory

　　Model: Phoenix

　　Manufacturer: EDAX, U. S. A

　　Main Specifications: Resolution:≤127eV

　　MnK ratio of peak to background: 20,000:1

　　Element probing range: All elements (expect H. He .Li)

　　Main applications: Quantitative and qualitative analysis of elements, particle analysis, phase distribution and image handling. Phoenix EDS provides an image and composition graph with a best resolution and high accuracy.