X射线光电子能谱仪（XPS）

仪器名称：

X射线光电子能谱仪（XPS）

英文名称：

X-Ray Photoelectron Spectroscopy

所属分类：

分析仪器 > X射线仪器 > X射线能谱仪

学科领域：

物理学 化学

主要技术指标：

1、能量扫描范围：1-1400 eV 2、最佳能量分辨率：≤0.45 eV (XPS) 3、最佳灵敏度：1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰) 4、分析室最佳真空度：优于3×10-9 mbar

主要功能：

xps超高真空分析及具有单色化激发源，能后实现样品表面元素分析，价态分析，价带分析，以及光电子谱空间成像，能量损失谱，离子散射谱