ISO8洁净度对应的是什么等级？

ISO8洁净度对应的是什么等级？ISO7、ISO6、ISO5、ISO4、ISO3相对应分别是多少洁净等级？清阳带大家了解一下各等级的标准：

ISO8 级

ISO8级的洁净室是每立方米大于等于05微米的微粒数量少于3520.000个，相当于Fed Std.209E的100.000级。

100.000级(ISO8级)对于抗静电材料中铵基抗静电剂和添加炭粉的使用没有特别的限制。真空吸塑容器、普通服装、足跟接地式鞋是在此级别的洁净室经

常出现的物品。100.000 级洁净室算不上严格控制的洁净环境，防尘面罩和手套没有配备的要求。进入ISO8 级洁净室的物品没有进行洁净和袋装处理的要求。

ISO7级(Fed Std10.000级)

ISO7级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于352,000个，相当于Fed Std.209E的10000级。此级别的洁净室不要求佩戴口罩，但要求穿

着抗静电的净化服、靴和头套，并佩戴橡胶手套;允许使用抗静电产品和添加炭粉的材料。离子化设备通常在特别的区域集中使用。车间内可以使用足跟接地带

和导静电靴子:耦合的洁净室用品也可被接受:抗静电聚乙烯泡沫有时也与抗静电周转容器中一同使用。

ISO6级(Fed Std1000级)

ISO6级的洁净室是指，每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于35.200个，相当于Fed Std.209E的1.000级。

进入此级别的洁净室必须身着带有防静电靴的防静电洁净服，防静电靴有接地结构或通过足跟、辅助接地带实现接地。需要时，也可以使用静电耗散材料的

套服。除非经过粒子计数器、除气和化学兼容性等系列测试，填炭材料的物品不可在此级别的洁净室中使用。进入此级别的洁净室的物品必须先在同级别的洁净

室中进行清洗，并使用双层包装。洁净室中必须配戴手套、口罩。服装使用一次后，必须经过清洗才能再次进入ISO6级洁净室。新的或经过清洗后的服装在进

入更衣室前，必须用袋子封装。经过测试不会产生污染的抗静电用品方能够使用。可以使用离子静由消除器减少粒子吸附，和减少 ESD损伤。

ISO5级(Fed Std100级)

ISO5 级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于3.520个，相当于Fed Std.209E的100级。ISO5级洁净室中，建议使用广泛使用离子化设备消除静电:洁净室中人员

须穿戴无尘服。无尘服必须覆盖人体的身体、头部、面部、手和眼睛。在工作站和生产场地，所有添置的离子设备都能够被观察到。在洁净室内尽可能不使用可

能产生污染的添碳材料和含有铵基的抗静电剂材料及其物品。由千具有不依赖吸湿和非极性溶剂中清洗不丧失防静电特性的优点，固有导电性的聚合物在洁净室

中广泛使用。

物品必须先进行清洗，并使用双层包装，通过风淋室进入ISO5级洁净室。手套覆盖手臂，无裸露皮肤。氨基抗静电剂材料中的氨基物可能污染器件表面，

除非不含有此类抗静电剂，否则洁净室中限制使用乙烯基的抗静电台垫。不能够使用非净化的普通纸张和笔。厂家需要设有一名或多名专职净化控制工程师，处

理ESD问题和净化问题。体积过大，不能用双层包装袋包装的设备必须使用70%非极性清洁剂擦拭或用去离子水清洗后，才能进入洁净室。

ISO4级(Fed Std.10级)

ISO4级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于352个，相当于Fed Std,209E的10级。在ISO4级洁净室中必须穿戴带有空气微循环装置的

邦尼服(无尘服)。所有工作站和生产制造中心的工作标准中必须有配置离子化设备内容。厂家必须配备多名专职净化控制和ESD控制工程师。物料必须经过

70%非极性清洗剂或去离子水清洗后才可进入工作场地。ISO5级的操作要求在ISO4 级中也必须执行。ISO4 级中的用品的ESD要求和无污染要求更加严格。

ISO3级(Fed Std1级)

ISO3级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于35个，相当于Fed Std.209E的1级。

人员不直接在ISO3级的洁净室工作。在ISO3级的洁净室中使用低粒子产生的特殊离子化设备或放射型等新型离子化设备，来消除静电。新型的离子化设备

主要解决 ESA 问题，它不能产生污染，并且配备实时粒子计数器监测设备运行状况。

常规的离子化设备由于其电极变化，会在这个最高净化级别的环境中会造成污染，不能使用。a粒子或 X 射线式的离子化设备经过严格的质量审核后方可

使用。一般设备容易产生微粒，因此须注意减少或消除这些可能的污染源。如果有静电场的问题话，厂家必须配备一名或多名专职净化控制工程师和一名ESD控制工程师。

物料必须经过70%非极性清洗剂或蒸馏水清洗后才可进入工作场地。采购部门在制定采购订单时，必须保证供应商在净化和 ESD方面与自己的产品保持一

致。

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