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半导体工艺过滤精密过滤膜的孔特性评价

2020-6-26 11:36| 发布者: guolvfenlitech6| 查看: 315| 评论: 0|原作者: guolvfenlitech6

摘要: 2020-06-26环球过滤分离技术网 guolvfenlitech6 半导体工艺过滤精密过滤膜的孔特性评价 标准颗粒过滤法 将滤液用MF过滤,用扫描电镜观察滤膜表面,可更好的判断滤液中的微粒。作为这种标准颗粒的代表,有Do ...

聚苯乙烯标准乳液.jpg



2020-06-26  环球过滤分离技术网     guolvfenlitech6




半导体工艺过滤精密过滤膜的孔特性评价



标准颗粒过滤法

将滤液用MF过滤,用扫描电镜观察滤膜表面,可更好的判断滤液中的微粒。作为这种标准颗粒的代表,有Dowchemical Co.,LTD销售的聚苯乙烯均匀标准乳液(Polystyrene uniform latex),其中有微粒的平均直径为0.234μm,标准偏差为0.0026μm等均匀的标准乳液。



实际实验中,用粒径为0.234μm的微粒过滤判断0.22μm的孔径,用粒径为0.481μm的微粒过滤判断0.45μm的孔径;




聚苯乙烯标准乳液孔径测试法.jpg






使用标准颗粒乳液的电子显微镜照相判断孔径



来源于:网络整理    www.guolvfenlitech.com




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