英特格扩建台湾研发中心

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2021-02-25   环球过滤分离技术网   guolvfenlitech2


半导体材料供应大厂英特格（Entegris）宣布，将扩建其在中国台湾新竹的台湾技术研发中心（TTC），计划包含专门开发过滤媒介的微污染控制实验室（MCL），协助客户在逻辑、DRAM和3DNAND装置制造上的挑战。



英特格指出，随着半导体制程对于品质精进的要求，制程环境的侦测与控制也随之延伸进化，当制程演进到纳米等级，空气中原本被忽略的微小气状分子污染物（AirborneMolecularContamination；AMC），开始对制程良率及产品可靠度产生了影响。



英特格宣布将扩建其在台湾新竹的台湾技术研发中心，扩建计划包含专门开发过滤媒介的微污染控制实验室，同时也是亚洲应用开发实验室（AADL）迁移后的新址，该实验室主要从事微量金属、有机污染物和纳米微粒的分析。



此扩建计划将扩大中心现有的研发、工业化生产和试产能力，同时建立单一的厂外合作据点，来满足客户伙伴对特用化学品、CMP和液体过滤上的需求。



英特格全球业务副总谢俊安表示，随着器件微缩持续是当今装置高效构建的主要驱动力，制程材料与设备间的互动及相依性正位居关键的演化点上。将业界内最专业顶尖的人才齐聚在这座最先进的研发中心内，英特格将更有能力来满足这些需求。



扩建MCL设施后，将我们在液体过滤、特用化学品和CMP领域的核心专才整合，提供更完整的分析服务与技术开发解决方案，协助客户伙伴在逻辑、DRAM和3DNAND装置制造上的挑战。



英特格成立于1966年，50年来为最先进的制造环境提供材料和解决方案提升良率，在半导体及其他高科技行业的污染控制、关键材料处理与先进制程材料方面处于市场领先位置。 2016年的销售额为12亿美元，其中半导体收入占总收入的77%，此外还有数据存储、显示、太阳能、姓名科学、环境可持续等领域。


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