半导体材料研发中的科研仪器设备汇总

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2021-07-18   环球过滤分离技术网    nanopuretech9

科学仪器在半导体研发中起到关键作用，半导体的纯度、杂质、性能检测都离不开科学仪器，因此越来越多的科学仪器厂商对于半导体领域愈发重视。伴随着政策的支持、资本的注入，国内半导体市场必将成为最具发展潜力的产业之一；随着半导体研发项目的增加及产量的提升，对于科学仪器的需求必将增大，这将直接拉动科学仪器企业半导体领域的仪器销量和业绩，成为备受瞩目的盈利增长点。

仪器信息网综合科学仪器在硅材料、光掩模、光刻材料、电子气体、工艺化学品、抛光材料、靶材、封装材料等领域的应用整理了一份仪器清单，近200类仪器或将在伴随着未来半导体行业发展的“黄金十年”而大展拳脚。（以下仪器可能存在并列或包含关系，未进行区分）

序号	仪器
1	高频红外碳硫分析仪
2	高阻仪
3	高速老化试验箱
4	高温试验箱
5	高效液相色谱
6	高压离子色谱系统
7	高低温湿热交变试验箱
8	高低温冲击试验箱
9	高低温交变湿热试验箱
10	飞行时间二次离子质谱仪
11	颗粒仪
12	频谱分析仪
13	顶空-气相色谱-质谱联用仪
14	顶空-气相色谱
15	非金属膜厚仪
16	阿贝闪点仪
17	阳离子色谱仪
18	针/锥入度仪
19	金相显微镜
20	金属膜厚仪
21	酸开封机
22	透射电子显微镜
23	透光率/雾度测定仪
24	辉光放电质谱仪
25	超高温差热分析仪
26	超纯水机
27	超景深显微系统
28	超声扫描显微镜
29	表面缺陷检测系统
30	表面张力仪
31	色谱仪
32	自动研磨机
33	自动电位滴定仪
34	自动滴定仪
35	能量色散型X射线荧光分析仪
36	聚焦离子束扫描电子显微镜
37	聚焦离子束场发射扫描电子显微镜
38	聚焦离子束
39	耐压测试仪
40	网络分析仪
41	维氏硬度计
42	纳米粒度仪
43	红外光谱仪
44	紫外老化箱
45	紫外/可见分光光度计
46	精密研磨机
47	精密切割机
48	粘着力测试仪
49	粘度计
50	等离子聚焦离子束
51	空气粒子计数器
52	离子色谱仪
53	离子研磨仪
54	磷检区熔炉
55	磨损测试系统
56	硝酸提纯仪
57	研磨机
58	矢量网络分析仪
59	矢量信号发生器
60	直读光谱仪
61	盐雾试验箱
62	界面材料热阻及热传导系数测量系统
63	电热鼓风干燥箱
64	电感耦合等离子质谱仪
65	电感耦合等离子发射光谱仪
66	电感耦合等离子光谱仪
67	电导率仪
68	电子天平
69	电子分析天平
70	电化学工作站
71	电位滴定仪
72	热风回流焊
73	热重分析仪
74	热机械分析仪
75	热常数分析仪
76	热导气相色谱
77	热导检测器气相色谱仪
78	热导分析仪
79	激光粒度仪
80	激光粒子计数器
81	激光散射粒径分布分析仪
82	激光开封机
83	激光导热仪
84	漏电起痕测试仪
85	温度循环试验箱
86	混合气体试验箱
87	液相色谱质谱联用仪
88	液相色谱仪
89	液体颗粒计数仪
90	液体颗粒仪
91	液体粒子传感器
92	流变仪
93	水氧分析仪
94	水分析仪
95	水分仪
96	氧氮氢分析仪
97	氧弹燃烧离子色谱仪
98	氧化物膜厚仪
99	氧分仪
100	氦离子化气相色谱仪
101	氦气氟油加压检漏装置
102	氦检漏仪
103	氢火焰离子化气相色谱仪
104	氙灯老化机
105	气相色谱仪
106	气相色谱-质谱联用仪
107	气相色用仪
108	气体分析仪
109	显微红外分析仪
110	数字式硅晶体少子寿命测试仪
111	放电氦离子化气相色谱仪
112	摆锤冲击试验机
113	接触角测量仪
114	拉力剪切仪
115	扫描电镜-电子背散射衍射
116	扫描电镜
117	扩展电阻测试仪
118	手动磨抛机
119	感应偶合等离子质谱仪
120	恒温恒湿箱
121	总有机碳检测仪
122	快速高低温湿热交变试验箱
123	微量水分仪
124	微量氧分析仪
125	微波消解仪
126	微机控制万能（拉力）试验机
127	微控数显电加热板
128	微探针台
129	影像仪
130	库伦法卡尔费休水分仪
131	库仑法卡氏水分测定仪
132	库仑水分滴定仪
133	差示扫描量热仪
134	少子寿命分析仪
135	导电型号测试仪
136	密度仪
137	多参数测量仪
138	多功能颗粒计数仪
139	塑料摆锤冲击试验机
140	场发射扫描电镜
141	四探针阻抗仪
142	台阶仪
143	台式BSE扫描电子显微镜
144	可编程晶体管曲线图示仪
145	可焊性测试仪
146	原子力显微镜
147	单面抛光机
148	半导体参数测试仪
149	动态热机械分析仪
150	凝胶渗透色谱
151	冷热冲击试验箱
152	冷场扫描电镜
153	关键尺寸扫描电子显微镜
154	全自动色度测试仪
155	光学金相显微镜
156	光学膜厚仪
157	傅立叶变换近红外光谱仪
158	傅立叶变换红外光谱仪
159	低温试验箱
160	低温傅立叶变换红外光谱仪
161	二维X射线检测仪
162	两探针电阻率测试仪
163	三重四极杆ICPMS
164	三维立体成像X射线显微镜
165	三维光学轮廓仪
166	三坐标测量机
167	万能试验机
168	万能推拉力试验机
169	α-粒子计数器
170	X射线检测仪
171	X光电子能谱仪
172	TOC仪
173	纳米粒度仪
174	PH计
175	EMI扫描台
176	单面抛光机
177	CNC视像测量系统(三次元)
178	8寸化学机械研磨机台
179	3D立体显微镜
180	12寸晶圆缺陷检测机
181	12寸化学机械研磨机台
182	三参数测定仪

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