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高纯气体在线精密过滤器简介

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发表于 2020-10-19 06:52:35 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
本帖最后由 guolvfenlitech1 于 2020-10-19 07:00 编辑



2020-10-19 环球过滤分离技术网  guolvfenlitech1

高纯气体精密过滤器


目前高纯气体过滤基本都是国外的供应商。看是简单,但是工艺和材质要求是很高的。对于那高温,耐压,耐腐蚀,惰性要求之高,可以说对过滤材料最高要求。用量大,要求很高,竞争相对少,自然利润也很高。


应用:医疗,食品,电子,半导体制造,石油化工、太阳能、液晶面板制造等行业。

过滤器壳体材质:二次提纯不锈钢316L ,VAR不锈钢或镍过滤器外壳,EP表面电子抛光。

过滤介质:不锈钢,镍合金,特氟龙PFA滤膜 ,PTFE,含氟聚合物,316L烧结不锈钢纤维毡、烧结金属镍多孔金属纤维毡,Hastelloy C-22烧结多孔金属(哈氏合金)纤维毡等过滤介质。

微细颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08µm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)

微细颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 µm(1.5nm)

最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)

全球主要生产商包括:

Entegris

Mott

GKN

Purolator

Pall

Capstan Incorporated

Porvair

Baoji Saga

Applied Porous Technologies

Swift Filters

PMF


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