洁净室的检测项目汇总简介

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2021-05-06 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech1

空气洁净度等级测试、风速和风量测试、静压差的测试、空气过滤器安装后的检漏、气流流型的检测、温度的检测、密闭性测试、相对湿度的检测、噪声测试、照度测试、超微粒子的测试、宏粒子的测试、微振测试、静电测试、自净时间。

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空气洁净度等级测试

空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。

洁净度等级测试前，应先进行风速，风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。

采样点确定：

应下式计算最少采样点：NL = √A ，采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。每个采样点的每次采样量：对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。

室内测试人员必须穿洁服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

风速和风量测试

风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等；风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。

仪器：热球风速仪，精度0.01m/s±3%,量程0~30m/s，集风罩。

方法：用集风罩住送风口，测出风口平均风速 。

单向流设施的截面风速、面风速和风量测试。

对单向流设施的风速测试，应将测试平面垂直于送风气流，该测试平面距离高效空气过滤器出风面150～300mm,宜采用300mm。将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不少于测试截面面积（ｍ²）的平方，测点在每个栅格的中心，全部测点不少于3点。

直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面为150mm。将测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸为 600mm×600mm或更小，测点在每个栅格的中心。

对单向流设施的风速分布测试，一般选取工作面高度为测试平面，平面上划分的栅格数量不少于测试截面面积（m²）的平方，测点在每个栅格的中心。

对非单向流设施的风速、风量的测试。

风口法测试风速、风量。风管法测试风量。风罩法测试风量。

若在高效空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，可利用该流量计直接测量风量。

静压差的测试

静压差的测试可采用电子压差计、斜管微压计或机械式压差计。

在进行静压差检测之前，应确定洁净室送、排风量均符合设计要求。

静压差测试时应关闭洁净区内所有的门，从洁净区最里面的房间开始向外依次检测。检测时应注意使测试管的管口不受气流影响。

空气过滤器安装后的检漏

高效空气过滤器安装后的检漏 方法有光度计法和粒子计数器法。

光度计法一般用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的 高浓度测试气溶胶。

由于粒子计数器法的灵敏性好和污染少，一般都采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。

检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。

DOP（邻苯二甲酸二辛酯）气溶胶（d=0.3μm,>3500个/升) 检查过滤介质、密封垫是否有泄漏。

操作方法：

过滤器额定风速下，在过滤器入口处导入每升空气中含80～100微克的DOP气溶胶，然后使用一只适当的测光仪探头在过滤器气流出口处扫描，采样速度不得低于0.3m3/min。扫描整个过滤表面及框架，探头位置距滤器表面50～100mm。

产生粒子：0.3μ

上游浓度：>百万级

高效过滤器应达到的滤除率：99.97％，穿透率：～ 0％，一些企业采用拆除中效过滤器测试法。

检漏评价：

下游侧0.3μm和0.5μm粒径分别＜3×10-4与1×10-4，作合格论。

如某点读数的窜透率＞0.01％，说明该点有泄漏，应修补。

累计修理面积＞总面积的5%时，过滤器应报废。

气流流型的检测

气流流型的检测包括气流目测和气流流向的测试。

气流目测可采用示踪线法、发烟（雾） 法和采用图像处理技术等方法。

气流流向的测试一般采用示踪线法、发烟（雾）法和三维法测量气流速度等方法。

温度的检测

洁净室（区）的温度测试可分为一般温度测试和功能温度测试。

温度测试可采用玻璃温度计、电阻温度检测装置、数字式温度计等。

温度测试应在洁净室（区）进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24h以上后进行。

一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度。测量时间应至少1.0h，并至少6min测量一次，读数稳定后作好记录。

功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格的面积不超过100㎡或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。

相对湿度的检测

湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点，测试时间、频度与温度测试相同，宜一同测试。

密闭性测试

密闭性测试用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室（区）。

一般适用于1级至5级的洁净室（区）进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

采用粒子计数器法时，测量被评价的表面的洁净室（区）外部的空气中悬浮粒子浓度，应比洁净室（区）内的浓度大一个10ª(a=4)的倍数，并至少大于等于3.5×106/m³待测粒径；若其空气中悬浮粒子浓度小于该值，应添加气溶胶提高浓度。

粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室（区）内待测试的接缝密封处或啮合面5～10cm；扫描速度5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室（区）内敞开的门0.3 ～ 3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。

噪声测试

噪声测试宜采用倍频程噪声分析仪，一般检测A声压级的数据。洁净室（区）噪声测试状态为空态或与建设方协商确定。

噪声测试点应在工作面高度进行，一般宜为距地面1.2~1.5m。测试点数量可按每100㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间至少1点。

照度测试

照度测试宜采用便携式数字照度计。

洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。

照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。

自净时间

洁净室的自净时间检测通常只适用于非单向流洁净室，一般以大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准，采用粒子计数器测试。

洁净室的自净性能还可以采用粒子浓度变化率评估，或者直接测量洁净室的100:1-自净时间进行评估。

超微粒子的测试

对洁净室（区）内粒径小于0.1μm的超微粒子的测试，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。

超微粒子的测试，宜采用凝聚核粒子计数器进行。

宏粒子的测试

对洁净室（区）内粒径大于5μm的宏粒子的测，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。

宏粒子的测试，宜采用过滤法、粒子计数器计数法等进行测量。

微振测试

根据生产工艺要求，对洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间（区域），进行微振控制设施的建造质量进行检测。一般采用微振测试分析系统进行测试，包括微振动传感器、专用仪器和计算机分析系统等。

静电测试

洁净室（区）内的地面、墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试，应根据生产工艺要求确定。宜采用高阻计进行测试。

浮游菌、沉降菌的检测

根据生产工艺要求必须控制洁净室（区）内的微生物污染时，应进行洁净室（区）内空气中微生物污染的检测。微生物污染的检测可在三种占用状态中的任一种状态进行。宜采用浮游菌的测试方法和沉降菌的测试方法。

浮游菌的测试方法是通过采样器采集在空气中的活微生物粒子，通过专门的培养基，在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。浮游菌的测试方法应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB_50591-2010的要求。

沉降菌的测试方法是通过培养皿收集到的活微生物粒子，通过专用的培养基，在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。沉降菌的测试方法应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB_50591-2010的要求。

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