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2020-07-19 环球过滤分离技术网 guolvfenlitech9
超高纯度(UHP)
为何如此重要?
半导体行业的清洁度水平超过医疗和制药行业的10,000倍甚至更多。如此高标准的要求是基于半导体制程的精密性,也是因为制程被污染所造成的损失巨大。实际上某些设备需要多达400个工艺步骤,也增加了被污染的机率。
因此,半导体行业使用的超高压气体纯度至少为99.999%。
全新产品
Ashcroft®
超高纯压力变送器和压力表
Ashcroft® 超高纯压力变送器ZT11和ZT16,以及28mm,50mm和63mm HPX超高纯压力表提供不锈钢结构和接液元件,可实现超净连接,是半导体应用中的工业气体应用的理想选择。
ZT11超高纯压力变送器
精度:±0.25%满量程
量程:真空,联程至300 psi,45 psi至3,000 psi
电气输出:4-20 mA
316L不锈钢电解抛光接液元件
100%氦气泄漏测试
洁净室包装
ZT16超高纯压力变送器
精度:±0.5%或1.0% 满量程
量程:真空,联程至150 psi,45 psi至150psi
电气输出:4-20 mA,1-5 VDC
316L不锈钢电解抛光接液元件
7 Ra表面光洁度选项
100%氦气泄漏测试
HPX 微型超高纯压力表 – 28mm
精度:±3.0%满量程
压力范围:真空至30 psi / 2 bar
最高至150 psi / 10 bar
VCR内/外螺纹,固定式或可旋转式过程连接
电解抛光316L AOD / VAR不锈钢接液元件
100%氦气泄漏测试
HPX 超高纯压力表 – 50mm/63mm
精度:±1.5%满量程
量程:真空,15 psi至3000 psi
过程连接:固定式,可旋转式
316L不锈钢接液元件
100%氦气泄漏测试
来源于:雅斯科 www.guolvfenlitech.com
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